• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2008 Fiscal Year Self-evaluation Report

Nano-chemical modification of diamond surfaces by a scanning probing method in controlled atmosphere

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 18360348
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Material processing/treatments
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

YOSHITAKA Mitsuda  The University of Tokyo, 生産技術研究所, 教授 (20212235)

Project Period (FY) 2006 – 2009
Keywordsダイヤモンド / 走査型プローブ顕微鏡 / 化学修飾 / 表面 / 雰囲気制御
Research Abstract

ダイヤモンドが共有結合体であるため、表面を終端するダングリングボンドが表面物性に大きな影響を及ぼすことが明らかになってきた。終端元素が水素の場合には負の電子親和力・p型伝導性・撥水性を示すのに対して、酸素の場合には正の電子親和力・縁性・親水性を示す。これらの表面電気伝導特性を利用して、電界効果型トランジスタなどの電子デバイスが実験室レベルで作製されているが、表面構造をナノレベルで改変する手法は未だ確立されておらず、終端構造の制御プロセス開発が求められている。
一方、電子線衝撃による表面吸着物が脱離する現象を用いて、電子線リソグラフィーと同様に、パターン化した脱離を行うことが可能であると予想される。この際に、雰囲気制御した電子線解離反応によりナノレベルでの吸着制御が可能であると考えられるが、これらに関する先行研究はない。
以上から、本研究では、ダイヤモンド表面の電気伝導性を変化させる終端原子(水素・酸素)に着目し、超高真空雰囲気における表面解析情報を基に、走査型プローブ顕微鏡を利用した電子衝撃反応を用いて、ダイヤモンド表面の原子の吸着・脱離過程のin-situ測定と制御を目的とする。

  • Research Products

    (8 results)

All 2009 2008 2007 2006 Other

All Presentation (6 results) Remarks (2 results)

  • [Presentation] 核形成プロセスの異なるダイヤモンド粒子からの電子放出特性2009

    • Author(s)
      野瀬健二、光田好孝
    • Organizer
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学(茨城)
    • Year and Date
      20090000
  • [Presentation] H2SによるSドープCVD多結晶ダイヤモンド膜の結晶性と電気伝導2008

    • Author(s)
      諏訪剛史、野瀬健二、光田好孝
    • Organizer
      第55回応用物理学会関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学(船橋)
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Growth and in-situ sulfur doping to diamond thin films in a micro-wave-plasma chemical vapor deposition2008

    • Author(s)
      Y.Mitsuda and K,Nose
    • Organizer
      17th world Interfinish Congress
    • Place of Presentation
      Busan, Korea
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] A numerical simulation of ion acceleration to negatively-biased substrates in a microwave-plasma chemical vapor deposition of diamond2008

    • Author(s)
      K,Nose and Y,Mitsuda
    • Organizer
      17th world Interfinish Congress
    • Place of Presentation
      Busan、Korea
    • Year and Date
      2008-06-17
  • [Presentation] H2Sを用いたCVD多結晶ダイヤモンド薄膜へのイオウドーピング2007

    • Author(s)
      諏訪剛史、野瀬健二、光田好孝
    • Organizer
      第21回ダイヤモンドシンポジウム
    • Place of Presentation
      長岡技術科学大学(長岡)
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] 酸素終端ダイヤモンド表面からの脱離過程2006

    • Author(s)
      新沢慶介、葛巻徹、光田好孝
    • Organizer
      第20回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
    • Place of Presentation
      東京大学(東京)
    • Year and Date
      20060000
  • [Remarks] ウェブページにおける研究概要の紹介

    • URL

      http://www.ips.iis.u-tokyo.ac.jp/

  • [Remarks] 研究所一般公開(生研公開)における一般(中高生を含む)向けの研究紹介活動

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi