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2007 Fiscal Year Annual Research Report

大気圧プラズマの発光分光計測に関する基礎研究

Research Project

Project/Area Number 18540485
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

赤塚 洋  Tokyo Institute of Technology, 原子炉工学研究所, 准教授 (50231808)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 松浦 治明  東京工業大学, 原子炉工学研究所, 助教 (70262326)
Keywords大気圧プラズマ / 発光分光計測 / 衝突幅射モデル / 衝突緩和 / 励起温度 / 原子衝突 / 励起状態数密度 / 衝突周波数
Research Abstract

プラズマ中の中性粒子の励起状態数密度を求める計算手法である「衝突輻射モデル」を、アルゴンプラズマを対象として、大気圧非平衡プラズマに適用可能なように開発し直し、電子温度・電子密度、ガス温度の関数として励起状態数密度を求める計算コードを作成・開発した。ついで、開発したコードを用い、理論的な立場から、電子温度や電子密度を入力として与えた励起状態数密度から、逆に電子温度や電子密度、ガス温度が決定出来るかどうかについて、理論的な立場から検討を加え、実際の発光分光計測の対象となるエネルギー準位の特定を行った。その結果、エネルギー準位の密集するグループでは、基底状態分子との衝突緩和により励起温度がほぼガス温度に等しくなること、および、エネルギーギャップが大きく基底状態分子による衝突緩和が進みにくい準位間には、電子衝突の影響が強く表れることを見いだした。
そこで、アルゴン原子の4p,4p'のグループと5p,5p'のグループで決定される励起温度に着目すると、電子密度の高低に応じて、2つの特徴あるグループに分かれて、電子温度と一対一の対応が見いだされることが判明した。この2グループの差は、ガス衝突と電子衝突の衝突周波数の差であり、大気圧の場合およそ10^<14>cm^<-3>程度が両者の境界を与えることを見いだした。低電子密度であると予想される大気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマジェットに対してこの方法を適用したところ、その電子温度はおよそ0.9eV程度であることが見いだされた。他研究者が行っている大気圧非平衡アルゴンプラズマのトムソン散乱計測等でも同様の値が報告されており、本研究で得られた分光測定法が、適切なものであると判断された。

  • Research Products

    (9 results)

All 2007

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (6 results)

  • [Journal Article] Actinometry Measurement of Oxygen Dissociation Degree in a Microwave Discharge Plasma and Effect of Electron Energy Distribution Function2007

    • Author(s)
      T. Sakamoto, H. Matsuura, and H. Akatsuka
    • Journal Title

      J. Adv. Oxid. Technol. 10

      Pages: 247-252

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Titanium Oxidation by Microwave Discharge Oxygen Plasma and Relationship with Plasma Parameters2007

    • Author(s)
      S. Kakizaka, T. Sakamoto, H. Matsuura and H. Akatsuka
    • Journal Title

      J. Adv. Oxid. Technol. 10

      Pages: 253-259

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Spectroscopic Study on the Vibrational Populations of N_2 C^3II and B^3II States in a Microwave Nitrogen Discharge2007

    • Author(s)
      T. Sakamoto, H. Matsuura, and H. Akatsuka
    • Journal Title

      J. Appl. Phys. 101

      Pages: 023307-1-023307-7

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 実験室酸素窒素プラズマの電子エネルギー・振動励起の非平衡性2007

    • Author(s)
      赤塚洋
    • Organizer
      日本天文学会2007年秋季大会
    • Place of Presentation
      岐阜大学
    • Year and Date
      2007-09-28
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Presentation] マイクロ波放電酸素窒素プラズマ中の酸素窒素の解離度2007

    • Author(s)
      市川陽亮、坂本武士、松浦治明、赤塚洋
    • Organizer
      第62回日本物理学会年次大会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2007-09-21
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Presentation] 開放端磁場を流れる低温アルゴンアークジェットプラズマの加速現象2007

    • Author(s)
      市井宏輝, 吉田和行, 長原洋, 松浦治明, 赤塚洋
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-05
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Presentation] Spectroscopic Study on Dissociation Degree of Nitrogen and Oxygen in N_2-O_2 Microwave Discharge Plasma2007

    • Author(s)
      Y. Ichikawa, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka
    • Organizer
      18th International Symposium on Plasma Chemistry
    • Place of Presentation
      京都大学吉田キャンパス
    • Year and Date
      2007-08-30
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Presentation] 大気圧非平衡マイクロ波放電プラズマジェットを用いたPENフィルム表面処理における基礎特性2007

    • Author(s)
      湯地敏史, 浦山 卓也, 藤井 修逸, 飯島 善時, 須崎 嘉文, 赤塚 洋
    • Organizer
      平成19年電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • Place of Presentation
      大阪大学吹田キャンパス
    • Year and Date
      2007-08-28
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Presentation] 大気圧非平衡DCパルス放電プラズマジェットにおけるラジカルシミュレーション2007

    • Author(s)
      加藤秀史, 川野泰和, 湯地敏史, 市川幸美, 鳥家秀昭, 赤塚 洋
    • Organizer
      平成19年電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • Place of Presentation
      大阪大学吹田キャンパス
    • Year and Date
      2007-08-28
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より

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Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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