2007 Fiscal Year Annual Research Report
高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究
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18540496
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| Research Institution | Tokai University |
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Principal Investigator |
進藤 春雄 Tokai University, 情報理工学部, 教授 (20034407)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岩尾 徹 武蔵工業大学, 工学部, 講師 (80386359)
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| Keywords | 反応性プラズマエッチング(RIE) / 平行平板プラズマ / 高周波プラズマ測定 / 電子温度測定 / 電子エネルギー分布測定 / 電子密度測定 / 絶縁壁プラズマ測定 / 高周波プラズマ分析装置 |
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| Research Abstract |
本研究課題は集積回路(LSI)プロセスの中心技術の一つであるプラズマエッチング装置のプラズマ分析技術として、プラズマ電子エネルギー分析、電子密度解析、プラズマポテンシャル分布解析等を可能とする分析システムプロトタイプの開発を目的としたものである。2年間の研究成果として、本プラズマ分析法の原理的実証を行うとともに、プラズマ分析装置プロトタイプの開発を行ったものである。すなわち、本プラズマ分析法の原理実証の研究では、従来法としてのラングミューアプローブ法では、プラズマポテンシャルの変動が大きいために測定不可能な平行平板型プラズマエッチング装置においても測定可能であることを実験的に証明し、今後のプラズマ応用分野におけるプラズマ分析法の進展にインパクト与えることが出来た。
また、プラズマ分析装置開発のフェーズでは、パラメータ解析のソフトウエアーに新規開発の課題は残ったものの、プラズマの電位測定ならびに電子エネルギー平均値の測定においては、データの自動取得・分析・測定結果の自動表示可能な形で分析装置プロトタイプの開発に成功しており、本研究課題において計画された研究内容はほぼ達成できたと考える。これらの研究成果は今後のプラズマ研究、特にプラズマ半導体応用分野において、本分析法および分析装置が産業レベルでの実用に供することが可能と展望するものである。
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