2007 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ・ナノデバイスの放電・電解ハイブリッド型連続成形法に関する研究
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18560111
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| Research Institution | Kogakuin University |
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Principal Investigator |
武澤 英樹 Kogakuin University, グローバルエンジニアリング学部, 准教授 (40334148)
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| Keywords | 微細軸 / 単発放電 / 電解加工 / ハイブリッド成形 |
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| Research Abstract |
微細加工用の工具電極や半導体検査用コンタクトプローブとして利用できる,微細軸の瞬時大量成形を目的としたシステムの構築を目指している.直径0.1mm程度のタングステン電極を陰極として,単発放電を発生させると放電後の電極先端が微細化するが繰り返しの成形精度が不十分であることがわかっている.本硫究では,単発放電後の微細軸形状を電解加工により所望形状に仕上げることをねらっている.前年度は,タングステン材料に対する電解形状仕上げの基礎実験を行い,電解液,電気条件の選定を行った.本年度は,電解加工により形状を仕上げる手法について検討した.各種形状の仕上げが可能なように,電解加工用の電極は薄板に丸穴を開けた単純電極形状として,軸直径の制御をタングステンロッドのZ軸下降速度で制御する手法を試みた.降下速度を遅くすると軸方向への加工量が多くなり軸は細くなる.一方,降下速度を早くすると加工量は少なくなり軸直径は太くなる.軸降下速度と加工量の関係を調べ,所望する形状に対するZ軸降下速度の最適化を行った.基礎実験は,直径1mmのタングステンロッドを用いて行った.実験装置の試作とZ軸降下速度の制御が可能となり,形状制御のための基礎データを取得することができている.最終年度は,このデータを元に電解加工による形状仕上げ,および直径0.1mmタングステンロッドに対する,単発放電後の電解加工仕上げを行い,全体のシステム化を図る予定である.
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