2008 Fiscal Year Final Research Report
Development of water driven machining system for ultra-precise meso-scale products
| Project/Area Number |
18560115
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | Kanagawa University |
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Principal Investigator |
NAKAO Yohichi Kanagawa University, 工学部, 教授 (00260993)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 超精密工作機械 / ウォータドライブスピンドル / ダイヤモンド切削 / 水静圧軸受 / マイクロファクトリ / 水圧駆動システム / ウォータドライブステージ |
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| Research Abstract |
本研究は, マイクロ非球面レンズなどに代表される小型超精密部品の創成に適した, 小型加工システムの開発を目的にして実施したものである. 本研究の特徴は, 加工システムの高精度化ならびに小型化に適していると考えられるウォータドライブ方式によるスピンドルとステージを開発したことである. さらに, 開発したスピンドルとステージの基本性能や制御性能を評価した後, これらを組み合わせたウォータドライブ小型加工システムを開発した.
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[Journal Article] Design of water driven stage2009
Author(s)
Y. Nakao, M. Kawakami
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Journal Title
Proceedings of 9th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology(San Sebastian) Vol.1
Pages: 200-203
Peer Reviewed
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