2008 Fiscal Year Final Research Report
Basic research of ultrahigh density toribo-memory using nanoperiod multilayer films as storage media
| Project/Area Number |
18560140
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Design engineering/Machine functional elements/Tribology
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| Research Institution | Nippon Institute of Technology |
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Principal Investigator |
MIYAKE Shojiro Nippon Institute of Technology, 工学部, 教授 (70229813)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | トライボロジー / データストレージ / ナノ材料 / 原子間力顕微鏡 |
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| Research Abstract |
超高密度記録媒体として物性の異なった層を積層した(Si/C),(C/BN)等のナノ周期積層膜を形成した。ここで(Si/C),(C/BN)膜については1nm 膜厚のナノ周期積層膜を実現した。超高密度記録のためのナノ加工特性の検討として、導電性加工工具(チップ)を用い放電と機械作用を併用した新しい加工を実現した。さらに原子間力顕微鏡(AFM)でダイヤモンドチップを用いて、1 層(1nm)以下の機械加工を実現した。ナノ周期積層膜に加工された情報を再生する方法として、(1)形状差、(2)摩擦力の差、(3)電流分布の差を取り上げ、加工深さに対応する物性の差を評価した。
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Research Products
(32 results)
