2007 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
18560203
|
|---|
| Research Institution | Kyushu University |
|---|
Principal Investigator |
久保田 裕己 Kyushu University, 大学院・工学研究院, 助教 (10117103)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高田 保之 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (70171444)
|
|---|
| Keywords | マイクロ・デバイス / 冷凍機 / ウェハー |
|---|
| Research Abstract |
昨年度は、感光性ガラス熱交換器を有するマイクロ冷凍機を初めて作製し、実験条件を、冷媒にはエチレンを使用し、質量流量10mg/s、入口圧力2.0MPa、出口圧力0.1013MPa(大気圧)および質量流量5mg/s一定、入口圧力2.4MPa、出口圧力0.1013MPa(大気圧)として実験を行った。実験結果は、真空チャンバーの不調等のため、入口温度から絞り出口測度までの湿度降下に関しては、それぞれおよそ9Kおよび10K程度であった。そこで、本年度は感光性ガラス熱交換器を有するマイクロ冷凍機を新たに作製して、実験条件を、冷媒には同じくエチレンを使用し、質量流量6.65mg/S、入口圧力2.0MPa、出口圧力0.1013MPa(大気圧)および質量流量9.09mg/s一定、入口圧力2.5MPa、出口圧力0.1013MPa(大気圧)として実験を行った。実験結果は、入口温度から絞り出口温度までの温度降下に関しては、それぞれおよそ15.1Kおよび26.6Kであった。しかし、前に行ったシリコン熱交換器を有するマイクロ冷凍機における結果は、他は同様な条件で入口圧力2.0MPaのとき14.1K、入口圧力2.5MPaのとき25.7Kであり、あまり違いは見られなかった。これはガラス熱交換器の接合に使用した水ガラスが接合の際流路に進入したため流路断面積の減少を引き起こし熱交換を阻害したことおよび、シリコンとガラスではエッチング法が異なり流路断面形状に違いが出たこと等が原因と考えられる。さらに、熱交換器と冷却チップ、ペルチェとから成る独立した実験装置により、質量流量を変えて高温・低温流体の入口・出口温度等の熱交換器のみの基本性能を測定した。
|
