2007 Fiscal Year Annual Research Report
上下振動している微細構造物の高精度3次元形状測定法の開発
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18560247
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
安達 正明 Kanazawa University, 自然科学研究科, 教授 (50212519)
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| Keywords | 半導体レーザ / 光路差測定 / リアルタイム測定 / 干渉顕微鏡 / 振動 / モジュレーション / 3次元形状測定 / 微細構造物 |
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| Research Abstract |
下記に,研究実績を箇条書きに記載する。
1.光路差が変わる時の干渉光強度変化のモジュレーションやオフセットは測定対象となる物体の微細形状とカメラ画素の相対位置によって大きく異なる。また,大きな光路差の変化と共にそれらの値は変動もする。この現象は高精度な光路差計測をかなり難しくする。そこで,光路差が数波長変化する毎にモジュレーションやオフセットを更新する方法をアルゴリズム検証プログラム(リアルタイム測定はできない)に組み込み,誤差を改善できるようにした。標準段差試料を用いての実際の干渉画像データをアルゴリズム検証プログラムで処理した結果,誤差はかなり改善できた。更新頻度だが,5波長毎の更新を2波長毎に変更しても測定結果には大きな違いが出なかった。
2.上記のように改良したアルゴリズムを基にFPGAボード用VHDLプログラムを開発し,これをFPGAボードにダウンロードしラインカメラのデータをFPGAボードに直接取り込んでトリガー信号を出せるようにした。また,FPGAボードが処理した中間データをボード外部に出力させ,その出力結果とアルゴリズム検証プログラムによる処理結果を比較して,動作がほぼ正しく動いていることを確認した。
3.測定対象が鏡面でなく粗面となる場合についての,レーザ光干渉データを2次元カメラ撮影により集めた。また,本方法をミロー型対物レンズに応用する場合に関しても干渉データを集めた。また,これらのデータから粗面やミロー型対物レンズを用いる場合のデータ処理に関して検討した。
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