2006 Fiscal Year Annual Research Report
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18560268
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
前山 光明 埼玉大学, 大学院理工学研究科, 助教授 (00196875)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
小林 信一 埼玉大学, 大学院理工学研究科, 教授 (40008876)
山納 康 埼玉大学, 大学院理工学研究科, 助手 (30323380)
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| Keywords | プラズマ / 大気圧プラズマ / マイクロホローカソード放電 / MHCD / MCS放電 / 並列MCS放電 |
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| Research Abstract |
大気圧下で、アーク放電に至ること無く安定したグロープラズマを生成するためには、放電開始電圧と放電維持電圧をほぼ等しい値にする必要があり、本研究では、マイクロホローカソード放電(MHCD)を利用したプラズマ源の開発を行っている。今年度は、研究題目のプラズマ源を開発するために挙げた(1)〜(6)の項目の内、(1)〜(3)および(4)の一部までを行い、以下の結果を得た。
(1)安定したMHCDの電極および条件の把握
(2)並列動作を考慮した電極の設計と測定
(3)第3電極を設置した大容積放電の実現
以上の項目において、銅張基板と複数の絶縁シートを用いた単一MHCDでの放電特性を調べ、ガラスエポキシ(FR-4)を絶縁体とした電極が、長寿命であり、また、安定して流せる電流値が大きい事を見出した。また、この材料は、並列動作を行うにも製作が容易であるという利点もある。
(3)の研究で、これまでの結果では、第3電極での放電(MCS放電)へのMHCDの効果が確認出来なかったが、上記電極により100mA以上と大きなMHCD電流を流せることにより、MCS放電の放電開始電圧、および、放電維持電圧がMHCD電流の値を上げると低下し、それらを制御出来ることを明らかにした。また、その結果、MHCDを並列の動作させることで、MCS放電も並列に均一に放電出来ることを示した。装置の大きさの関係で、4並列まで、並列動作が可能であることを確認した。
「(4)生成プラズマの特性の測定」については、今年度、プラズマからの発光の分光分析装置の製作と動作確認までを行った。
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Research Products
(5 results)
