2008 Fiscal Year Final Research Report
Compound Nanoimprint Processes and Their Applications for Functional Nanodevices
| Project/Area Number |
18560350
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Waseda University |
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Principal Investigator |
MIZUNO Jun Waseda University, ナノ理工学研究機構, 准教授 (60386737)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SAITO Mikiko 早稲田大学, ナノ理工学研究機構, 准教授 (80386739)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | ナノデバイス造形 / MEMS / マイクロファブリケーション / ナノ構造化学 / 電気化学 / ナノインプリント / ナノメッキ |
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| Research Abstract |
高分子材料を基板として、ナノインプリント技術で溝構造の作製、ナノメッキ技術で樹脂上に配線パターンを形成し、そして最終的にプラズマ、エキシマUVによる表面親水化技術によって、溝構造と配線パターンをもつ基板同士を、流路変形の無い低温接合技術で、3次元構造を持つ流路デバイスとして作製することに成功した。本研究の成果は医療・化学分析チップ作製に必要な基礎技術を確立することができたと言える。
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