2008 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究
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18560407
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| Research Institution | Ibaraki University |
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Principal Investigator |
尾保手 茂樹 Ibaraki University, 工学部, 准教授 (50323209)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鹿子嶋 憲一 茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
池畑 隆 茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸 茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
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| Keywords | プラズマチャンバー / 異常放電 / 位置推定 |
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| Research Abstract |
半導体製造工程のひとつにプラズマチンバ内でのエッチング工程がありにおいてプラズマ化されたエッチングガスによるマイクロアークと呼ばれる異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有用である. 本研究では実験的にチャシバ内での異常放電の発生箇所を推定することを目指した.
到来方向を推定する技術の1つとして, MUSIC (Multiple SIgnal Classification) 法が挙げられる. MUSIC法とは, アレーアンテナの受信信号から相関行列を求め, その固有値, 固有ベクトルを用いた方法で, 高精度・高分解能に到来の方向を推定する手法である. しかしマルチパス伝搬に起因して到来波がコヒーレントの場合, 複数の到来波を分離できないという欠点がある. 本研究では実際にチャンバを作歳しチャンバ内での到来方向推定制度の評価を行った.
マルチパス環境下での到来方向推定制度の評価を行った. 13点のうち左側2点を除いて比較的良好な結果が得られ, その平均誤差は14[°]であった.
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