2007 Fiscal Year Annual Research Report
波長多重走査型半導体レーザ光源によるインプロセス形状計測システムの実現
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18560409
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
鈴木 孝昌 Niigata University, 自然科学系, 教授 (40206496)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐々木 修己 新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
大平 泰生 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10361891)
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| Keywords | 外部共振器型光源 / 広帯域波長走査 / 静的波長走査 / 半導体レーザー / 光熱変調 / インプロセス計測 |
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| Research Abstract |
超音波偏向器、超音波偏向器ドライバーを新たに購入し、回折格子を組み合わせて外部共振器型半導体レーザ光源を構築した。ドライバーの中心変調周波数を80MHzとし、制御電圧を印加してビーム走査を行ったところ、印加電圧4Vにおいて約1.5度のビーム偏向角が得られた。これは波長に直すと約8nmの波長走査幅に相当すると考えられた。実際に、波長走査の実験を行ったところ、広範囲な波長走査が実現されるまでは至らず、ある範囲で波長が行き来する不安定な現象が観測された。さまざまな実験および検討を重ねた結果、この原因として超音波偏向器の0次光および1次回折光が同時に半導体レーザに戻っていることが考えられた。0次光を遮蔽するような光学配置をとって実験を行った結果、不安定な現象は解消され、波長が静的に走査できるところまでは確認することができた。ただし、これまでのところ波長の走査範囲が理論で予想された値に比べてかなり狭いため、次年度以降は捜査範囲の拡大を図っていく予定である。一方、光熱変調は、光軸の調整や光学系の再構成により安定して実現できた。加熱用レーザの電流値を80mAから90mAへ変化させたとき、0.27mの波長シフトが観測された。また、現有するスペクトラムアナライザの分解能の範囲では0.02nmの波長シフトが観測され、連続的な波長走査の可能性が示唆された。今後は、最終目標としている高精度インプロセス計測系の構築もあわせて行っていく予定である。
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