2008 Fiscal Year Final Research Report
In-process profile measurement system based on a multiple wavelength scanning laser diode
| Project/Area Number |
18560409
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Measurement engineering
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
SUZUKI Takamasa Niigata University, 自然科学系, 教授 (40206496)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SASAKI Osami 新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
OHDAIRA Yasuo 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10361891)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 半導体レーザ / 干渉計 / 波長走査 / 光外部共振器 / インプロセス計測 |
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| Research Abstract |
機械的駆動要素を必要としない静的波長走査光源を提案・構築し, AOD による波長走査が可能であることを実証した。波長走査幅は, 約1(nm), 周波数応答は約300(Hz)であった。また, 高速度CCDカメラを用い, インプロセスでの鮮明な干渉縞画像検出ができることを確認した。これにより, 外乱にロバストな干渉計測システムの実現が可能であることを示した。
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