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2008 Fiscal Year Annual Research Report

室温動作の単電子デバイス開発を指向したTEM/STMによる単電子トンネル現象研究

Research Project

Project/Area Number 18560640
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

有田 正志  Hokkaido University, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (20222755)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高橋 庸夫  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授 (90374610)
末岡 和久  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授 (60250479)
柴山 環樹  北海道大学, エネルギー変換マテリアル研究センター, 准教授 (10241564)
Keywordsトンネル接合 / ナノドット列 / グラニュラー薄膜 / 磁気抵抗効果 / 電子顕微鏡 / トンネル顕微鏡 / 単電子伝導 / その場計測
Research Abstract

研究の最終年度にあたり, 本年は計測システムの完成, 得られた結果の総括・公表に重点をおいて研究を展開した. TEM/STMシステムを用いた単電子伝導計測に加え, 本システムの抵抗変化型メモリー(ReRAM)研究への応用の有益性を示した. 詳細を以下に記す.
(1)TEM/STMホルダー : 前年度に確認した基本性能データを基に, システムを完成させた.DA変換ボード,電圧制御ピエゾコントローラをPC制御するために, Visual Basic. NET上でのソフトウェアを作製した.PC画面上でのマウス移動により,探針の位置制御が0.1nmオーダーで可能になった.
(2)TEM/STM探針作製 : 本研究における試料作製には手間がかかる.従って実験効率向上のためには1つの試料で複数箇所の伝導計測を可能にする必要がある. そのため, 楔型先端をもつPt/Ir探針の作製法を開発した.具体的には機械研磨, ペンチによる襖形形状への加工,イオンスパッタによる最終仕上げである.10時間程度で高分解能TEM観察が可能な探針を数本作製できた.
(3)TEM/STMによる量子伝導計測 : ここ数年の研究によりMgOに挟まれた2〜3nmのFeナノドットが室温において単電子伝導を示すことを実験的に明らかにできた.その総括を行う目的で2件の論文公表を行った.また日本顕微鏡学会誌「顕微鏡」に解説記事を執筆した.本研究について一定の評価を得たものと考えている.
(4)TEM平面実験用試料作成 : TEM用SiN基板上にデバイスを作製するプロセスを完成した.
(5)単電子デバイス以外への応用 : Pr0. 7Ca0. 3MnO3を用いたReRAM用テスト試料を用いて,TEM内での抵抗スイッチ現象を確認した. 高分解能TEM観察など今後の課題はあるが,TEM/STMシステムの他分野への研究展開を期待させる結果を得ることができた.

  • Research Products

    (27 results)

All 2009 2008

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (23 results)

  • [Journal Article] Magnetoresistance of Fe-SrF2 single-electron devices with a current-in-plane geometry2008

    • Author(s)
      有田正志
    • Journal Title

      Superlattices and Microstructures 44

      Pages: 449-456

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Tunnel current measurement of MgO and MgO/Fe/MgO nano-regions during TEM observation2008

    • Author(s)
      有田正志
    • Journal Title

      Superlattices and Microstructures 44

      Pages: 633-640

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Microstructure and electric property of MgO/Fe/MgO tri-layer films forming a nano-granular system2008

    • Author(s)
      有田正志
    • Journal Title

      Microelectronic Engineering 27

      Pages: 2445-2450

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 透過電子顕微鏡内におけるナノ領域のトンネル伝導計測(解説)2008

    • Author(s)
      有田正志
    • Journal Title

      顕微鏡 43

      Pages: 181-187

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] TEM内同時観察におけるPr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3のI-Vヒステリシス特性2009

    • Author(s)
      藤井孝史
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      筑波大学, つくば
    • Year and Date
      20090330-0402
  • [Presentation] W/Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3/Pt構造のReRAM特性におけるW酸化物の影響2009

    • Author(s)
      梶宏道
    • Organizer
      春季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学,つくば
    • Year and Date
      20090330-0402
  • [Presentation] Nio薄膜のRe-RAM特性に対する熱酸化温度依存性2009

    • Author(s)
      近藤洋史
    • Organizer
      春季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学,つくば
    • Year and Date
      20090330-0402
  • [Presentation] 単層Feナノドット薄膜を用いたナノ構造の作成2009

    • Author(s)
      若杉恭平
    • Organizer
      春季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学,つくば
    • Year and Date
      20090330-0402
  • [Presentation] 多出力端子のナノドットアレイデバイスの電流スイッチング特性2009

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      春季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学,つくば
    • Year and Date
      20090330-0402
  • [Presentation] Si細線に作製したダブルドット単電子トランジスタの特性2009

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      北海道大学, 札幌
    • Year and Date
      20090317-19
  • [Presentation] W針を用いたW/Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3/Pt薄膜のReRAMにおけるW酸化物の影響2009

    • Author(s)
      梶宏道
    • Organizer
      電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      北海道大学, 札幌
    • Year and Date
      20090317-19
  • [Presentation] 単層Fe-MgO系グラニュラー薄膜を用いたナノ構造デバイス2009

    • Author(s)
      若杉恭平
    • Organizer
      電気学会全国大会
    • Place of Presentation
      北海道大学, 札幌
    • Year and Date
      20090317-19
  • [Presentation] Novel-Functional Single-Electron Device Using Nanodot Array with Multiple Outputs2009

    • Author(s)
      高橋庸夫
    • Organizer
      2009 RCIQE International Seminar on "Advanced Semiconductor Materials and Devices"
    • Place of Presentation
      北海道大学,札幌
    • Year and Date
      20090302-03
  • [Presentation] Si細線に作製したダブルドット単電子トランジスタの特性2009

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      電子情報通信学会技術報告電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      北海道大学,札幌
    • Year and Date
      20090226-27
  • [Presentation] Si細線に作製したDouble Dotの単電子トランジスタの特性2009

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      サンリフレ函館,函館
    • Year and Date
      20090108-09
  • [Presentation] W針を電極としたPr_<0.7>Ca_0.3MnO_3薄膜のReRAM特性におけるW酸化物の影響2009

    • Author(s)
      梶宏道
    • Organizer
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      サンリフレ函館,函館
    • Year and Date
      20090108-09
  • [Presentation] 単層Fe-MgO系グラニュラー薄膜を用いたナノ構造デバイス2009

    • Author(s)
      若杉恭平
    • Organizer
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      サンリフレ函館,函館
    • Year and Date
      20090108-09
  • [Presentation] Novel-Functional Single-Electron Device Using Nanodot Array with Multiple Inputs and Outputs2008

    • Author(s)
      高橋庸夫
    • Organizer
      IUMRS-ICA 2008 (The IUMRS International Conference in Asia 2008)
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場,名古屋
    • Year and Date
      20081209-13
  • [Presentation] パーマロイ薄膜における磁壁移動と縦磁気抵抗効果2008

    • Author(s)
      笹川芳晃
    • Organizer
      日本金属学会-2008年度秋期大会
    • Place of Presentation
      熊本大学, 熊本
    • Year and Date
      20080923-25
  • [Presentation] 透過型電子顕微鏡によるPr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3のその場観察2008

    • Author(s)
      藤井孝史
    • Organizer
      秋季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      中部大学,春日井
    • Year and Date
      20080902-05
  • [Presentation] MOD法により作成したPr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3のパルス電圧による抵抗スイッチング特性2008

    • Author(s)
      近藤洋史
    • Organizer
      秋季応用物理学会講演会
    • Place of Presentation
      中部大学,春日井
    • Year and Date
      20080902-05
  • [Presentation] シリコンマルチゲートナノドットアレイデバイスの特性2008

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      特定領域研究「ポストスケール」第四回全体会議
    • Place of Presentation
      三の丸会館, 名古屋
    • Year and Date
      20080807-08
  • [Presentation] PCMOによる抵抗変化型メモリのパルス測定評価2008

    • Author(s)
      近藤洋史
    • Organizer
      STARCフォーラム/シンポジウム2008
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜,横浜
    • Year and Date
      20080716-17
  • [Presentation] Full adder operation based on Si nanodot array device2008

    • Author(s)
      開澤拓弥
    • Organizer
      2008 Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW-08)
    • Place of Presentation
      Hilton Hawaiian Village, Honolulu, Hawaii
    • Year and Date
      20080615-16
  • [Presentation] Silicon nanodot-array device with multiple gates2008

    • Author(s)
      曹民圭
    • Organizer
      EMRS 2008 Spring Meeting (EMRS-08)
    • Place of Presentation
      Congress Center, Strasbourg, France
    • Year and Date
      20080526-30
  • [Presentation] Electric conduction of single layered Fe nano-dot films2008

    • Author(s)
      有田正志
    • Organizer
      EMRS 2008 Spring Meeting (EMRS-08)
    • Place of Presentation
      Congress Center, Strasbourg, France
    • Year and Date
      20080526-30
  • [Presentation] パーマロイ薄膜における磁化方向と磁気抵抗曲線の直接同時観察2008

    • Author(s)
      笹川芳晃
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第64回学術講演会
    • Place of Presentation
      京都国際会館,京都
    • Year and Date
      20080521-23

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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