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2006 Fiscal Year Annual Research Report

電子線誘起蒸着による金属間化合物ナノドットの作製

Research Project

Project/Area Number 18560701
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Research InstitutionSaitama Institute of Technology

Principal Investigator

下条 雅幸  埼玉工業大学, 先端科学研究所, 助教授 (00242313)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 竹口 雅樹  埼玉工業大学, 物質材料研究機構・ナノ計測センター, 主任研究員 (30354327)
Keywords金属材料 / ナノ材料 / 金属間化合物 / 磁性
Research Abstract

目的の場所へサイズや形状を制御して、ナノ構造を作製できる方法として電子線誘起蒸着法(EBID)がある。この手法を用いてFeやその他の金属ナノドットを作製して、加熱することにより、合金ナノ構造物が作製できると考えられる。そのときの基板の種類、金属の蒸着量、熱処理温度によっては、単なる合金だけでなく金属問化合物が生成することも予想される。そこで、基板にPtなどの金属を用いてEBIDで金属ナノ構造を作製し、その後に熱処理をすることにより、次世代の磁気記録媒体として有望とされているFePt等の金属間化合物ナノドットを基板上に配列する技術を確立することを最終目的として研究を行った。
EBIDでFeやPtを堆積させるためには、それぞれFe(CO)_5および(CH_3)_3(CH_3-C_5H_4)Ptを原料とした。
まずは、EBIDによりFeナノ構造物を作製し、その上にPtを蒸着し、その後熱処理をすることでFePt_3金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。しかし、この金属間化合物は反強磁性であるため、磁気記録媒体用には不適である。
次に、Feを含む原料とPtを含む原料を同時に用いてEBIDを行い、その後熱処理することで、FePt金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。また、電子線ホログラフィー法により、このナノ構造物は強磁性であることを確認した。しかし、このナノ構造物は、原料から混入する炭素を多量に含んでおり、純度の向上が今後の課題であると考えている。

  • Research Products

    (5 results)

All 2006

All Journal Article (5 results)

  • [Journal Article] Formation of Fe-Pt intermetallic phase in nanostructures by electron beam induced deposition and postdeposition alloying processes2006

    • Author(s)
      W.Zhang, R.Che, M.Takeguchi, M.Shimojo, K.Furuya
    • Journal Title

      Surface and Interface Analysis 38

      Pages: 1527-1529

  • [Journal Article] 電子線誘起蒸着(EBID)による磁性ナノ構造創製2006

    • Author(s)
      竹口雅樹, 下条雅幸, 古屋一夫
    • Journal Title

      顕微鏡 41・2

      Pages: 127-130

  • [Journal Article] Effects of heat treatment on electric properties of nanorods formed by electron beam induced deposition2006

    • Author(s)
      M.Shimoji, M.Takeguchi, 他
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 45・6B

      Pages: 5509-5512

  • [Journal Article] Formation crystalline iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition at romm temperature2006

    • Author(s)
      M.Shimoji, M.Takeguchi, K.Furuya
    • Journal Title

      Nanotechnology 17

      Pages: 3637-3640

  • [Journal Article] Favrication of a nano-magnet on a piezo-driven tip in a TEM sample holder2006

    • Author(s)
      M.Takeguchi, M.Shimoji, R.Che, K.Furuya
    • Journal Title

      Journal of Materials Science 41

      Pages: 2627-2630

URL: 

Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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