2007 Fiscal Year Annual Research Report
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18560701
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| Research Institution | Saitama Institute of Technology |
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Principal Investigator |
下条 雅幸 Saitama Institute of Technology, 先端科学研究所, 准教授 (00242313)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
竹口 雅樹 物質材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 (30354327)
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| Keywords | 金属材料 / ナノ材料 / 電子顕微鏡 |
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| Research Abstract |
目的の場所ヘサイズや形状を制御して、ナノ構造を作製できる方法として電子線誘起蒸着法(EBID)がある。この手法を用いてFeやその他の金属ナノドットを作製して、加熱することにより、合金ナノ構造物が作製できると考えられる。そのときの基板の種類、金属の蒸着量、熱処理温度によっては、単なる合金だけでなく金属間化合物が生成することも予想される。そこで、基板にPtなどの金属を用いてEBIDで金属ナノ構造を作製し、その後に熱処理をすることにより、FePt等の金属間化合物ナノドットを基板上に配列する技術を確立することを目的として研究を行った。
EBIDでFeやPtを堆積させるためには、それぞれFe(CO)_5および(CH_3)_3(CH_3-C_5H_4)Ptを原料とした。
前年度までに、EBIDによりFeナノ構造物を作製し、その上にPtを蒸着し、その後熱処理をすることでFePt_3金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。また、Feを含む原料とPtを含む原料を同時に用いてEBIDを行い、その後熱処理することで、FePt金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。しかし、このナノ構造物は、原料から混入する炭素を多量に含んでおり、純度の向上が今後の課題であると考えられた。
そこで本年度は、EBIDで作製したナノ構造物の純度を向上させるため、作製後に熱処理をする方法および作製時に水蒸気を混合する方法ついて研究を行った。その結果、どちらの方法でも炭素混入量を大幅に減少させることができた。
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Research Products
(4 results)
