2008 Fiscal Year Final Research Report
Fabrication of intermetallic nanodots using an electron beam induced deposition technique
| Project/Area Number |
18560701
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Material processing/treatments
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| Research Institution | Saitama Institute of Technology |
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Principal Investigator |
SHIMOJO Masayuki Saitama Institute of Technology, 先端科学研究所, 准教授 (00242313)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
TAKEGUCHI Masaki 物質材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 (30354327)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | 金属材料 / ナノ材料 / 電子顕微鏡 |
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| Research Abstract |
目的の場所ヘサイズや形状を制御して、ナノ構造を作製できる方法として電子線誘起蒸着法(EBID)がある。本研究では、FeとPtを含む原料を用いてEBIDを行い、FePt金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。また、このとき作製されたナノ構造物の純度が問題だったため、原料に水蒸気を混合する方法や無機系原料を用いたEBID法を開発し、比較的純度の高いナノ構造を作製できた。
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