2007 Fiscal Year Annual Research Report
新規なコンビナトリアル・スパッタ成膜法を用いるEL素子用蛍光体薄膜の開発
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18560704
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| Research Institution | Kanazawa Institute of Technology |
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Principal Investigator |
宮田 俊弘 Kanazawa Institute of Technology, 工学部, 教授 (30257448)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
南 内嗣 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70113032)
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| Keywords | 薄膜 / EL素子 / コンビナトリアル / スパッタリング / 蛍光体 |
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| Research Abstract |
フラットパネルディスプレイやランプへの応用を目的として、無機薄膜エレクトロルミネッセント(EL)デバイスが古くから研究されているが、実用化には至っていない。これは、実用に十分な性能(輝度、発光効率および色純度等)を有するELデバイス用蛍光体薄膜を実現できていないことに起因する。本研究の目的は、実用に十分な性能を有する新規なELデバイス用蛍光体薄膜を、申請者らが提案し、開発に成功した新規な薄膜作製技術であるコンビナトリアル・スパッタリング法を駆使して実現することにある。具体的には、申請者らが長年ELデバイス用蛍光体薄膜研究を続けてきた中から開発に成功した化学的に安定で環境に易しい特徴を持つ酸化物系蛍光体、近年薄膜EL素子用蛍光体として報告されている窒化物系蛍光体及び古くから薄膜EL素子用蛍光体として研究されている硫化物系蛍光体において、これまでにない新規な材料を本コンビナトリアル・スパッタリング成膜技術を駆使することにより期間内に実現する。
本年度は、前年度に確立したコンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、新規な蛍光体材料の探索を行う。具体的には、酸化物と窒化物、酸化物と硫化物等の異なる化合物系を組み合わせた新規な多元系(複合)蛍光体薄膜を実現した。また、コンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、構成元素の組成の最適化、発光中心材料の含有量の最適化を行い、薄膜EL素子の発光層等への応用を行った。
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