2006 Fiscal Year Annual Research Report
電界共役流体を応用した高性能マイクロジャイロスコープの研究
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18656052
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
横田 眞一 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (10092579)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
吉田 和弘 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (00220632)
竹村 研治郎 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (90348821)
金 俊完 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (40401517)
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| Keywords | ジャイロスコープ / 機能性流体 / センサ / マイクロモータ / マイクロマシン |
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| Research Abstract |
本研究は,直流高電圧の印加によって活発な流動(ECFジェット)を発生する機能性流体である電界共役流体(Electro-corjugate Fluid, ECF)を応用した新たな高性能マイクロジャイロスコープを実現することを目的とする.すなわち,ECFで満たされた円筒状チャンバの底面に放射状に電極対を配置し,電圧を印加することによってチャンバ内に回転流を発生させる.この回転流によって,同じくチャンバ内に封入された円盤(ロータ)を浮上,回転させたECFジャイロモータを製作し,モータ全体に角速度が加わった際のロータとステータの偏角を計測することによってジャイロを構成する.平成18年度は上記目的のうちECFジャイロモータを開発し,その回転特性を実験的に明らかにすることを計画し,以下の成果を得た.
はじめに,直径3mmの円盤状ロータを用いたECFジャイロモータを設計,製作し,上記のようなジャイロスコープの可能性について検討した.この結果,試作したECFジャイロモータによって円盤状ロータを浮上,回転させることが可能であることが明らかとなった.
つぎに,ロータ径を1.5mmとしたECFジャイロモータを試作し,回転特性を測定した.この結果,直径3mmの場合と比較して大幅に回転数が向上したことから,提案したECFジャイロスコープが小形化に有利な構成であることが確認された.
今後は,上記の結果を踏まえて,角速度が入力された際にロータとステータの偏角を計測するセンサを一体化したECFジャイロスコープを実現することを目指す.
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