2008 Fiscal Year Annual Research Report
マルチファンクショナルCMOSセンサ統合型マイクロリアクタシステムの開発
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18681024
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| Research Institution | Nara Institute of Science and Technology |
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Principal Investigator |
徳田 崇 Nara Institute of Science and Technology, 物質創成科学研究科, 准教授 (50314539)
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| Keywords | マイクロリアクタ / イメージセンサ / CMOSセンサ / 電気化学測定 / 偏光分析 / in situ不斉計測 |
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| Research Abstract |
申請計画に基づき、マルチファンクショナルCMOSセンサを設計・試作し、動作検証を行った。最重要機能となる。偏光計測画素を用いた不斉分析機能について、これをリアルタイムで旋光度0.04度で計測することに成功した。
昨年度までの研究で検証したデバイスの実用化にむけての課題解決を行った。実現した計測原理を用いながら、イメージセンサ構成を採った新しいマイクロケミストリ向け偏光計測センサを実現した。
CMOSデバイスプロセスにおける配線層を利用して、アクティブピクセルセンサ(APS)アレイの直上に微細ワイヤグリッド構造を搭載した画素を、独自の設計技術によって、多数の異なるグリッド角で設計し、これを集積化したイメージセンサ型偏光計測センサを設計・試作・動作検証した。スクロースを用いた旋光度計測において、旧型のデバイス(昨年度の成果)においては1分以上を計測に要していた旋光度計測を1秒以内に完了する、リアルタイム計測技術を達成した。その際の分解能は0.04度程度であり、昨年度の技術と同程度かそれ以上を達成している。これにより、マイクロリアクタへの組み込み時におけるin situ不斉度計測機能の実証に成功した。
成果として、目標としていた各機能を実現するセンサ回路を実証し、マイクロケミストリシステムへの搭載についても、基礎的検証に成功した。
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