2008 Fiscal Year Final Research Report
A study on monolithic vibrational gyrosensor to detect triaxial angular velocities
| Project/Area Number |
18760050
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Applied physics, general
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| Research Institution | Yamagata University |
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Principal Investigator |
TAMURA Hideki Yamagata University, 大学院・理工学研究科, 助教 (90396581)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Keywords | ジャイロセンサ / 圧電 / 3軸角速度 / 多軸ジャイロ / 水晶 / モノリシック振動子 / 超音波 / 振動デバイス |
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| Research Abstract |
組込用途などの小形で低コストな回転角速度センサの利用と要求が広がっており、振動型ジャイロセンサは最も有望なタイプであるが、通常は一つのデバイスで一つ無いし二つの回転軸しか検出出来ない。小形化アプローチとして一つのモノリシック振動デバイスにおいて三軸全ての回転角速度が検出されれば有用である。本研究ではフォトリソグラフィならびにエッチング加工で量産可能な水晶Z板より得られる単一振動子を用いて三軸ジャイロ実現の可能性を示した。
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