2006 Fiscal Year Annual Research Report
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18760097
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
津守 不二夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (10343237)
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| Keywords | ナノインプリント / 粉体成形 / 微細加工 / 成形解析 / 磁性粒子 / 光硬化性樹脂 |
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| Research Abstract |
今年度の成果は主に以下の2点である.
(1)樹脂と粉末を組み合わせた微細加工技術として,リソグラフィ加工技術を用いて作製したシリコン樹脂と半固形状のワックス型を利用した微細成形体の作製
(2)柱状構造をアレイ状に配置した弾性樹脂内部に磁性粒子を分散させた構造を用い,マイクロ可動構造を作製できることを示した.
前者は乾式粉末を微細な型に充填し加圧成形加工する手法である.これまで,このような微細な型に粉末を充填固化し,離型を成功させた例はほとんどない.ここでは半固形ワックスで作製した型を利用することにより,割れなく成形体を作製し同時に溶解することにより容易に取り出しができることを示した.
後者は機能性構造体作製の例である.粘性樹脂中に磁性粒子を分散させた材料を微細パターンに転写する.樹脂を硬化し型から取り出すことにより磁場により動的にパターンを変化させる機能性微細構造を作製することができた.粒子の充填には磁場や遠心分離機を利用することにより樹脂中で特徴的な配置を行うことが可能であった.
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