2006 Fiscal Year Annual Research Report
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18760238
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| Research Institution | University of Hyogo |
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Principal Investigator |
藤澤 浩訓 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 助手 (30285340)
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| Keywords | 強誘電体極薄膜 / 強誘電体ナノ構造 / 分極反転 / エピタキシャル成長 / 成長様式 / CR-PFM / SNDM |
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| Research Abstract |
本年度の実施計画に基づき,主にナノサイズ強誘電体の作製・評価に関する基礎的技術の確立・拡充を行い,以下の知見を得た.
1.SrTiO_3(100)単結晶基板上へのPt, Ir及びSrRuO_3薄膜のエピタキシャル成長について詳しく調べた.その結果をもとに成膜条件の再検討を行った結果,SrTiO_3基板にコヒーレントに成長し,かつ表面にステップ＆テラス構造を有するPt及びSrRuO_3薄膜の作製に成功した.さらにこれらのPt及びSrRuO_3薄膜上でのPbTiO_3薄膜の成長初期過程を観察した結果,PbTiO_3薄膜の成長様式は格子不整合よりも表面エネルギーや結晶構造に依存して決定されることを明らかにした.
2.SrRuO_3/SrTiO_3基板上へのエピタキシャルPZT薄膜の作製を行い,膜厚数nm以下の単結晶PZT薄膜を得ることに成功した.
3.PbTiO_3ナノドット上へのAuナノドットの形成を行い,個々のPbTiO_3ナノドット上に単一のAuナノドットの形成が可能なことを見出した.また,電流検出型AFMによるI-V特性の測定を行い,ナノキャパシタとして動作することを確認した.
4.接触共振型圧電応答顕微鏡法における圧電応答の周波数特性について検討した結果,測定周波数をうまく選択することで,微弱な圧電応答しか示さない強誘電体極薄膜においても圧電ヒステリシスループの観測が可能なことを実証した.
5.走査型非線形誘電率顕微鏡を新規に立ち上げ,膜厚数nm以下の強誘電体極薄膜のドメイン構造の観察に成功した.
6.CR-PFMを用いて強誘電体極薄膜の分極反転について調べた結果,膜厚1.3nmのPbTiO_3極薄膜においても外部電場による分極反転が可能であることを見出した.
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