2007 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
18760258
|
|---|
| Research Institution | Okayama Prefectural University |
|---|
Principal Investigator |
岸原 充佳 Okayama Prefectural University, 情報工学部, 助教 (50336905)
|
|---|
| Keywords | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管ベンド |
|---|
| Research Abstract |
1.本研究では,放射光によるテフロンの微細加工と表面への金属の蒸着を通して,ミリ波・サブミリ波領域での応用が期待できる導波路および素子を構成する技術の開発を試みている.19年度は,まず,昨年度実施したQバンド(33-50GHz)のサイズでの実験工程に基づき,再度Qバンドを想定して別パターンの微細テフロン導波管回路を試作した.まず,短絡境界H面平面回路法と電磁界シミュレータを用いて,試作対象となるH面導波管回路素子(金属ポストを用いた十字交差形方向性結合器)の設計を行った.この設計結果を基に,回路パターンをステンシルマスク上に形成し,放射光によるテフロンの直接エッチングを行った.今回,回路パターン(十字交差形方向性結合器)で実現すべき金属ポストの直径が0.2mm程度となり,これへのAuスパッタが課題として残った.
2.また,19年度は,Vバンド(50-75GHZ)に対応するサイズで実験工程の実施を検討した.Vバンドでのテフロン導波管寸法を決定すると共に,試作対象となる簡単な形状のH面導波管素子(ストレート,マイターベンド等)の設計を行った.Vバンドで新たにテフロン充填-中空導波管変換器を設計した.
3.18年度中に得られたQバンドのストレート導波管,ベンド導波管の試作・測定結果を中心に,国際学会等で発表した.また,「PTFE材料のエッチング方法,及び,高周波導波管」として特許出願した.
|
Research Products
(5 results)
