2008 Fiscal Year Annual Research Report
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18760258
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| Research Institution | Okayama Prefectural University |
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Principal Investigator |
岸原 充佳 Okayama Prefectural University, 情報工学部, 准教授 (50336905)
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| Keywords | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管ベンド |
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| Research Abstract |
1. 本研究では, 放射光によるテフロンの微細加工と表面への金属の蒸着を通して, ミリ波・サブミリ波領域での応用が期待できる導波路および素子を構成する技術の開発を試みている. 20年度は, 前年度設計したH面導波管回路素子(金属ポストを用いた十字交差形方向性結合器)を基に, Qバンド(30-50GHz)をターゲットとしたテフロンパターン放射光直接エッチングを行った. パターンに含まれる金属ポスト径0.2mmへのAuスパッタが検討課題として残った.
2. また, 20年度は,回路パターンにおける誘電率の違いを利用して回路設計が可能になれば, 様々な機能を有するテフロン導波管回路素子の開発が期待できることから, テフロン導波管に空気のポスト領域を作ることで, ハイブリッド回路を実現する方法を提案した, 最適化設計により, 良好な3dB特性を得ている. この成果を研究会, 国際会議で発表した.
3. 18年度〜20年度に得られたQバンドのストレート導波管, ベンド導波管の試作・測定結果を中心に, 論文にまとめて発表した.
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