2020 Fiscal Year Annual Research Report
光触媒援用トランスファプリントによる酸化グラフェン積層膜の微細構造化
| Project/Area Number |
18H01352
|
|---|
| Research Institution | Tokyo Metropolitan University |
|---|
Principal Investigator |
金子 新 東京都立大学, システムデザイン研究科, 教授 (30347273)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
武田 伊織 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任研究員 (70792266)
諸貫 信行 東京都立大学, システムデザイン研究科, 教授 (90166463)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2018-04-01 – 2021-03-31
|
| Keywords | トランスファプリント / 光触媒 / トランスファプリント / Au / 酸化グラフェン |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
酸化チタン（TiO2）の光触媒層を設けたガラス製スタンプを作製し，同スタンプ上にAPTESおよびAHAPSの自己組織化単分子膜（SAM）を形成した．これらのSAMはAu薄膜のトランスファプリントにおける離型層（剥離層）として機能する．当該年度では，TiO2表面へのAPTES-SAMとAHAPS-SAMの成膜方法とプロセス条件の最適化を行い，APTESはは窒素雰囲気下での液相成膜が，そしてAHAPSはPTFE密閉容器を利用した簡易気相成膜が適していることを明らかにした．また，同スタンプ裏面から紫外線を照射させて，APTESとAHAPSの分解性を調査した結果，APTESに比べてAHAPSの分解効率が高いことを実証し，本研究ではAHAPSを離型層（剥離層）としたスタンプを採用することとした．AHAPS-TiO2-ガラス製のスタンプにAu薄膜をスパッタ成膜し，光触媒援用トランスファプリントを行った結果，より低温でAu薄膜をPETフィルムに転写が可能となり，光触媒効果による離型性向上を実証した．さらに，前年度までの高分子フィルムを離型層とした場合に比べて，必要な紫外線照射量すなわちプロセス時間を1/3以下まで減少させることが可能となり，より実用的なプロセスであることを示した．光触媒援用トランスファプリントにより，線幅50μm以下のマイクロパターンの作製も可能であることも示した．
また，同様のトランスファプリントにより，Au薄膜と酸化グラフェンナノ粒子膜から構成されるマイクロ振動子（両もち梁構造）も作製でき，同マイクロ振動子を静電力により駆動させることに成功した．
|
| Research Progress Status |
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
|
| Strategy for Future Research Activity |
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
|
