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2019 Fiscal Year Annual Research Report

層状結晶性有機半導体を用いる全塗布型・超高精細TFTアレイの開発

Research Project

Project/Area Number 18H03875
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

長谷川 達生  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (00242016)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 東野 寿樹  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (30761324)
荒井 俊人  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (40750980)
Project Period (FY) 2018-04-01 – 2021-03-31
Keywords有機半導体 / 有機エレクトロニクス / プリンテッドエレクトロニクス / 銀ナノインク / TFTアレイ
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、超高精細な金属細線印刷が可能なスーパーナップ法と、高均質な層状結晶性有機半導体の統合と高度化により、全塗布型・高精細・高性能なTFTアレイの製造技術確立を目指した研究開発を実施した。まず、①スーパーナップ電極を用いた低電圧駆動のデバイス構造構築では、比較的複雑な構造を有するTFTアレイ用電極を高精細かつ再現性良く得るため、銀ナノインク改質の検討を行い、粘性の制御や含有アルコール量の制御等が、高精細(400ppi)な印刷電極構築のため有効なことを確認した。②高撥液なCytop表面上での半導体塗布技術の開発では、前年度に優れたスイッチング特性が得られたDA型ポリマー半導体TFTについて、各デバイス要素を変えた場合のサブスレッショルドスイング(SS)値・バイアスストレス効果・コンタクト抵抗等への影響について詳細に検討した。結果、DA型ポリマー半導体では、TFT特性に影響を与える2種類のトラップがあることを明らかにした。また低分子系半導体の製膜について、2分子膜構造により優れた層状結晶性を示すPh-BTBT-Cn系では、気液界面で薄膜成長が進行することに着目し、類似のシャボン膜の形成メカニズムをヒントにして、高撥液なCytop表面上に高均質な結晶性薄膜を形成する手法についての手がかりを得た。③有機半導体材料の高度化では、層状結晶性・溶液プロセス性・熱安定性を備えた低分子系半導体の開発をさらに進めた。特にBTBTT等の新規拡張π電子骨格にアルキル鎖を置換した非対称分子系で高い層状結晶性と優れた半導体特性を得られることを確認した。またBTBT系やBTNT系において、アルキル基やフェニル基等の置換位置やフェニルエチニル基等の新たな置換基の導入により、結晶構造やこれに伴う半導体特性の制御が可能なことを明らかにした。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

低分子系半導体の製膜について、従来の溶液塗布法ではできない高撥液なCytop表面上に高均質な結晶性薄膜を形成する手法として、シャボン膜の形成メカニズムをヒントにした全く新たな手法についての手がかりを得ることができた。低分子系半導体の塗布において、研究は当初の予想を越えてきわめて大きな進展を遂げつつある。

Strategy for Future Research Activity

超高精細な金属細線印刷が可能なスーパーナップ法と、高均質な層状結晶性有機半導体を組み合わせた、全塗布型・高精細・高性能な薄膜トランジスタアレイ製造技術の確立をさらに進めていく計画である。特に最終年度である3年目においては、400ppiの精細度のTFTアレイ構造の構築を進めるともに、高急峻なスイッチング特性と高いデバイス移動度を併せもつ優れた低分子系半導体の塗布製膜手法の開発と、これに適した分子開発を進めていく計画である。

  • Research Products

    (32 results)

All 2020 2019

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (28 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Invited: 4 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Bilayer-type Layered Herringbone Packing in 3-n-Octyl-9-phenyl-benzothieno[3,2-b]naphtho[2,3-b]thiophene2019

    • Author(s)
      Toshiki Higashino, Satoru Inoue, Yuichi Sadamitsu, Shunto Arai, Sachio Horiuchi, and Tatsuo Hasegawa
    • Journal Title

      Chemistry Letters

      Volume: 48 Pages: 453-456

    • DOI

      10.1246/cl.181038

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Phase and Dispersion Stability of Silver Nanocolloids for Nanoparticle-Chemisorption Printing2019

    • Author(s)
      Yuya Hirakawa, Keisuke Aoshima, Shunto Arai, and Tatsuo Hasegawa
    • Journal Title

      ACS Applied Nano Materials

      Volume: 2 Pages: 4342-4349

    • DOI

      10.1021/acsanm.9b00795

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Use of surface photo-reactive nanometal printing for polymer thin-film transistors: contact resistance and short-channel effects2019

    • Author(s)
      Gyo Kitahara, Mitsuhiro Ikawa, Satoshi Matsuoka, Shunto Arai, and Tatsuo Hasegawa
    • Journal Title

      MRS Communications

      Volume: 9 Pages: 1181-1185

    • DOI

      10.1557/mrc.2019.126

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Stability of Printed Organic Thin-Film Transistors Composed of Ultrafine Silver Electrodes by SuPR-NaP Technique2019

    • Author(s)
      G. Kitahara, T. Hamai, S. Matsuoka, S. Arai, and T. Hasegawa
    • Organizer
      MRS Spring Meeting 2019,Phenix, USA
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Development of Layered-Crystalline BBBT-based Organic Semiconductor Materials with Long Alkyl Chain2019

    • Author(s)
      東野寿樹、荒井俊人、井上悟、都築誠二、下位幸弘、長谷川達生、阿澄玲子
    • Organizer
      14th International Symposium on Functional π-Electron Systems (Fπ14),Campus Adlershof, Berlin, Germany
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Advanced Printed Electronics : Materials and Junction Technologies2019

    • Author(s)
      Tatsuo Hasegawa
    • Organizer
      19th International Workshop on Junction Technology (IWJT 2019),Kyoto, Japan, 2019/6/6-7
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 層状結晶性有機半導体の結晶-結晶相転移2019

    • Author(s)
      荒井俊人、井上悟、東野寿樹、田中睦生、長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会 2019年 秋季大会,岐阜大学,2019/9/10-13
  • [Presentation] 結晶性有機半導体におけるトラップ敏感イメージング2019

    • Author(s)
      松岡悟志、堤潤也、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] フェニルエチニル置換した非対称BTBTの層状結晶性とTFT特性2019

    • Author(s)
      井上悟、東野寿樹、荒井俊人、田中睦生、近藤隆祐、佐賀山遼子、熊井玲児、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] 全塗布型有機トランジスタにおけるスイッチング特性の急峻化2019

    • Author(s)
      北原暁、井川光弘、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] 層数制御した超極薄単結晶有機薄膜トランジスタの環境応答特性Ⅱ2019

    • Author(s)
      山田詩乃、荒井俊人、井上悟、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] 共焦点動的光散乱で見た銀ナノコロイド分散挙動における特異な溶媒組成効果2019

    • Author(s)
      林太一、平川友也、荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] 層状結晶性有機半導体Ph-BTNT-Cn単結晶トランジスタの異方的キャリア輸送2019

    • Author(s)
      荒井俊人、井上悟、東野寿樹、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] モノアルキルBTNT系の置換位異性による結晶構造制御とTFT特性2019

    • Author(s)
      井上悟、東野寿樹、荒井俊人、近藤隆祐、佐賀山遼子、熊井玲児、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス,2019/9/18-21
  • [Presentation] 有機半導体単層2分子膜の構築と高性能薄膜トランジスタへの応用2019

    • Author(s)
      荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第80回 応用物理学会秋季学術講演会(公益社団法人応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会 第17回奨励賞受賞記念講演),北海道大学 札幌キャンパス, 2019/9/18-21
    • Invited
  • [Presentation] 長鎖アルキル基を有する非対称置換BTBTT系有機半導体の開発2019

    • Author(s)
      東野寿樹、荒井俊人、井上悟、長谷川達生、阿澄玲子
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学 札幌キャンパス
  • [Presentation] Synthesis and TFT Properties of an Asymmetrically-Substituted BTBTT2019

    • Author(s)
      Toshiki Higashino, Shunto Arai, Satoru Inoue, Tatsuo Hasegawa, Reiko Azumi
    • Organizer
      13th International Symposium on Crystalline Organic Metals, Superconductors and Magnets (ISCOM2019), Tomar, Portugal
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 銀ナノインクを用いた超高精細配線印刷と散乱計測2019

    • Author(s)
      長谷川達生
    • Organizer
      2019年 第31回 散乱研究会,浅草橋HULIC HALL
    • Invited
  • [Presentation] Nanoparticle Chemisorption Printing of Silver Nanocolloid - Underlying Mechanism and Sensing Application2019

    • Author(s)
      Tatsuo Hasegawa
    • Organizer
      2019 MRS Fall Meeting & Exhibit,Boston, Massachusetts, USA
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Molecular-Bilayer Organic Semiconductors - High Layered Crystallinity for Innovative Solution Processing2019

    • Author(s)
      Tatsuo Hasegawa
    • Organizer
      2019 MRS Fall Meeting & Exhibit,Boston, Massachusetts, USA
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Molecular bilayer organic semiconductors for sensing applications2019

    • Author(s)
      Tatsuo Hasegawa
    • Organizer
      The 4th UTokyo-NTU Joint Conference,Tokyo, Japan
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 長鎖アルキル置換BBBT半導体結晶における層状分子配列の構築(講演中止)2019

    • Author(s)
      東野寿樹、荒井俊人、井上悟、都築誠二、下位幸弘、長谷川達生、阿澄玲子
    • Organizer
      2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] フェニル-エチニル置換した非対称BTBTの層状結晶性とTFT特性Ⅱ(講演中止)2019

    • Author(s)
      井上悟、東野寿樹、荒井俊人、田中睦生、近藤隆祐、佐賀山遼子、熊井玲児、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] Cytopゲート絶縁層からなる単結晶有機FETの特異なゲート変調信号増幅効果(講演中止)2019

    • Author(s)
      松岡悟志、木村智貴、堤潤也、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパ
  • [Presentation] Cytop絶縁層状への低分子系半導体の塗布製膜と高急峻TFTスイッチング(講演中止)2019

    • Author(s)
      北原暁、井上悟、東野寿樹、井川光弘、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] 2分子膜構造を持つ優位半導体におけるトラップ状態の抑制(講演中止)2019

    • Author(s)
      浜井貴将、荒井俊人、井上悟、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] 銀ナノコロイドの特異な安定分散挙動における溶媒和シェル効果(講演中止)2019

    • Author(s)
      林太一、平川友也、荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] 超高精細金属配線印刷と半導体塗布製膜の統合による全印刷TFTアレイ製造の高速化(講演中止)2019

    • Author(s)
      井川光弘、北原暁、林太一、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] 層数制御した超極薄単結晶有機薄膜トランジスタの環境応答特性Ⅲ(講演中止)2019

    • Author(s)
      山田詩乃、 荒井俊人、 東野寿樹、井上悟、長谷川達生
    • Organizer
      2020年 第67回 応用物理学会春季学術講演会,上智大学 四谷キャンパス
  • [Presentation] 層状結晶性有機半導体Ph-BTNT-Cn単結晶トランジスタの異方的キャリア輸送(講演中止)2019

    • Author(s)
      荒井俊人、井上悟、東野寿樹、長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会 第75回年次大会,名古屋大学 東山キャンパス
  • [Presentation] モノアルキルBTNT置換位置異性体の結晶構造制御と有機半導体特性(講演中止)2019

    • Author(s)
      井上悟、東野寿樹、荒井俊人、近藤隆祐、佐賀山遼子、熊井玲児、長谷川達生
    • Organizer
      日本化学会 第100回 春季年会(2020),東京理科大学 野田キャンパス
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 半導体およびその製造方法2020

    • Inventor(s)
      長谷川達生、北原暁、井上悟、荒井俊人、井川光弘
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人 東京大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2020-030767

URL: 

Published: 2021-12-27  

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