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2019 Fiscal Year Annual Research Report

Development of semiconductors intra-center photonics

Research Project

Project/Area Number 18H05212
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

藤原 康文  大阪大学, 工学研究科, 教授 (10181421)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 舘林 潤  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40558805)
市川 修平  大阪大学, 工学研究科, 助教 (50803673)
芦田 昌明  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (60240818)
佐藤 和則  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (60379097)
Project Period (FY) 2018-04-23 – 2023-03-31
Keywords希土類元素 / 内殻遷移 / フォトン場制御 / 発光ダイオード
Outline of Annual Research Achievements

【課題1】光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓:<課題1-1>Eu添加GaNマイクロ光共振器におけるEu発光機能の評価:(1)垂直共振器型において12.9倍のEu発光強度増大を観測した。1.2倍の輻射再結合確率増大が観測され、Purcell効果の発現を明らかにした。 (2)マイクロディスク型を取り上げ、FDTDシミュレーションならびに作製に取り組んだ。独自に開発した成長温度変調法により作製した、GaNと格子整合する厚膜AlInNを犠牲層として用いた。共振器モードの発現がディスク直径に依存し、直径1.5 μm近傍では基本モードのみが、直径5 μm近傍では基本モードに加え、高次モードが観測された。<課題1-2> Eu添加GaN 2次元フォトニック結晶ナノ光共振器の設計と作製:六角形孔を有するL3シフト型においてEu発光とカップリングした共振ピークを明瞭に観測した。実測Q値は3,100であり、34倍のEu発光増強を実現した。これらの結果は、六角形孔を用いたフォトニック結晶が微小共振器として十分機能し、高輝度赤色発光を得るために有用であることを示唆している。
【課題2】電流励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓:<課題2-1> ZrO2 /SiO2 DBRとAlInN/GaN DBRからなるマイクロ光共振器を有する赤色LEDを作製した。各DBRの波長622 nmでの反射率はそれぞれ99.41%、84.03%であり、共振器Q値は84と求められた。垂直共振器型LEDにおいて11倍程度のEu発光増強が得られた。Purcell効果による輻射再結合確率の1.1倍の増大に加えて、受光面への光取り出し効率が増大したことを明らかにした。
今年度、電子線描画装置をナノサイエンスデザイン教育研究センターとの共用装置として導入し、既に基本性能の確認は終了している。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

主に、「光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓」に取り組んでいる。フォトン操作を可能とするナノ構造の設計とナノメートルレベルで制御された半導体薄膜作製技術と半導体微細加工技術が有効に機能し始め、国内外の研究者の追随を許さない現状にある。得られたEu添加GaNナノ構造に対して光励起下においてフォトン場制御の有効性等、新しい事象を世界に先駆けて明らかにしつつある。また、本研究を推進するにあたり、半導体光物性を専門とする海外研究者との国際連携が強化され、世界的に見て、正に独壇場となっている。

Strategy for Future Research Activity

これまでの成果を継続的に発展させながら、フォトン場制御に関する研究の重心を「光励起下」から「電流励起下」へと移していく。
【課題1】光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓:<課題1-1> マイクロディスク型Eu添加GaNマイクロ光共振器におけるEu発光機能の評価:構造的欠陥を極力抑え、直径や厚み、端面形状を最適化したマイクロディスク型マイクロ光共振器において、Eu発光特性を評価する。また、時間分解発光特性評価を通じて、Purcell効果の発現度合いを明らかにする。<課題1-2>Eu添加GaN 2次元フォトニック結晶ナノ光共振器の構造最適化とEu発光機能の評価: FDTDシミュレーションを用いて、更なる構造の最適化を行う。スタティック測定やダイナミック測定を行い、究極的なEu発光機能の発現とそのメカニズムを明らかにする。
【課題2】電流励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓:<課題2-1>ダブルDBR型Eu添加GaNマイクロ光共振器を有するLEDの最適化とEu発光機能の評価:AlInN /GaN DBRの成長条件を最適化し、更なる高Q値化を目指す。共振器Q値とEu発光増強率との相関を調べ、フォトン場制御の有効性を電流注入下で明らかにする。
【課題3】フルカラー化への展開と集積化:<課題3-1>Tm添加AlxGa1-xNの作製とTm発光機能の評価: Tmイオン周辺局所構造の変調を目的として、MgやSi等の不純物共添加や多層構造への添加を行い、青色Tm発光の高輝度化を目指す。<課題3-2>Tb添加GaNの作製とTb発光機能の評価: OMVPE法によるGaNへのTb添加、ならびにTb発光特性の評価を行う。
観測される実験データを理論的に検証するために、光と物質の相互作用を精密に取り扱う手法を開発している研究者を研究協力者に加え、フォトン場の影響を積極的に取り入れた数値計算手法の構築を目指す。

  • Research Products

    (40 results)

All 2020 2019 Other

All Int'l Joint Research (3 results) Journal Article (11 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Peer Reviewed: 11 results) Presentation (22 results) (of which Int'l Joint Research: 14 results,  Invited: 22 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Int'l Joint Research] University of Amsterdam(オランダ)

    • Country Name
      NETHERLANDS
    • Counterpart Institution
      University of Amsterdam
  • [Int'l Joint Research] Lehigh University/West Chester University(米国)

    • Country Name
      U.S.A.
    • Counterpart Institution
      Lehigh University/West Chester University
  • [Int'l Joint Research] Hanyang University(韓国)

    • Country Name
      KOREA (REP. OF KOREA)
    • Counterpart Institution
      Hanyang University
  • [Journal Article] Direct detection of rare earth ion distributions in gallium nitride and its influence on growth morphology2020

    • Author(s)
      B. Mitchell. D. Timmerman, W. Zhu, J. Y. Lin, H. X. Jiang, J. Poplawsky, R. Ishii, Y. Kawakami, V. Dierolf, J. Tatebayashi, S. Ichikawa, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 127 Pages: 013102/1-9

    • DOI

      10.1063/1.5134050

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Excitation efficiency and limitations of the luminescence of Eu3+ ions in GaN2020

    • Author(s)
      D. Timmerman, B. Mitchell, S. Ichikawa, J. Tatebayashi, M. Ashida, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Physical Review Applied

      Volume: 13 Pages: 014044/1-6

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.13.014044

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Valence states and the magnetism of Eu ions in Eu-doped GaN2020

    • Author(s)
      T. Nunokawa, Y. Fujiwara, Y. Miyata, N. Fujimura, T. Sakurai, H. Ohta, A. Masago, H. Shinya, T. Fukushima, K. Sato, and H. Katayama-Yoshida
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 127 Pages: 083901/1-7

    • DOI

      10.1063/1.5135743

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] GaN:Eu,O-based resonant-cavity light emitting diodes with conductive AlInN/GaN distributed Bragg reflectors2020

    • Author(s)
      T. Inaba, J. Tatebayashi, K. Shiomi, D. Timmerman, S. Ichikawa, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 2 Pages: 732-738

    • DOI

      10.1021/acsaelm.9b00806

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Room-temperature operation of near-infrared light emitting diode based on Tm-doped GaN with ultra-stable emission wavelength2020

    • Author(s)
      S. Ichikawa, N. Yoshioka, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 127 Pages: 113103/1-9

    • DOI

      10.1063/1.5140715

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electronic structure and spin-wave dispersion of Cu2MnAl, Ni2MnSn and Pd2MnSn based on quasi-particle self-consistent GW calculations2020

    • Author(s)
      H. Okumura, K. Suzuki, K. Sato, and T. Kotani
    • Journal Title

      Journal of Physical Society of Japan

      Volume: 89 Pages: 034704/1-8

    • DOI

      10.7566/JPSJ.89.034704

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Picosecond time-resolved dynamics of energy transfer between GaN and the various excited states of Eu3+ ions2019

    • Author(s)
      R. Wei, B. Mitchell, D. Timmerman, T. Gregorkiewicz, W. Zhu, J. Tatebayashi, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, and V. Dierolf
    • Journal Title

      Physical Review B

      Volume: 100 Pages: 081201(R)/1-5

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.100.081201

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Localized-surface-plasmon-enhanced GaN:Eu-based red light-emitting diodes utilizing silver nanoparticles2019

    • Author(s)
      J. Tatebayashi, T. Yamada, T. Inaba, D. Timmerman, S. Ichikawa, and Y. Fujiwara
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 12 Pages: 095003/1-5

    • DOI

      10.7567/1882-0786/ab37b0

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Microscopic ion migration in solid electrolytes revealed by terahertz time-domain spectroscopy2019

    • Author(s)
      T. Morimoto, M. Nagai, Y. Minowa, *M. Ashida, Y. Yokotani, Y. Okuyama, and Y. Kani
    • Journal Title

      Nature Communications

      Volume: 10 Pages: 2662/1-8

    • DOI

      10.1038/s41467-019-10501-9

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Theoretical predictions of maximum Curie temperatures of Fe-based dilute magnetic semiconductors by first-principles calculations2019

    • Author(s)
      T. Fukushima, H. Shinya, A. Masago, K. Sato, and H. Katayama-Yoshida
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 12 Pages: 063006/1-5

    • DOI

      10.7567/1882-0786/ab2360

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Spin-wave dispersion of 3 d ferromagnets based on quasiparticle self-consistent G W calculations2019

    • Author(s)
      H. Okumura, K. Sato, and T. Kotani
    • Journal Title

      Physical Review B

      Volume: 100 Pages: 054419/1-11

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.100.054419

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Semiconductors intra-center photonics; red LED using Eu-doped GaN with control of photon fields2020

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, D. Lebrun, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      SPIE Photonics West 2020
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Electrically controlled RGB color tunability in a single GaN-based LED material through manipulation of Eu3+ emission2020

    • Author(s)
      B. Mitchell, V. Dierolf, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      SPIE Photonics West 2020
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 超高精細マイクロLEDディスプレイに資する窒化物半導体赤色LEDの高輝度化とRGB集積化2020

    • Author(s)
      藤原康文
    • Organizer
      2019年度 第6回JLEDS セミナー
    • Invited
  • [Presentation] マイクロLEDディスプレイに資する窒化物半導体赤色LEDの高輝度化とRGB集積化2020

    • Author(s)
      藤原康文
    • Organizer
      日本金属学会第166回春期講演大会シンポジウム「どこまで実現したか?超スマート社会」
    • Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intra-center photonics; manipulation of Eu luminescence in Eu-doped GaN by control of photon fields2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, K. Shiomi, Y. Sasaki, T. Inaba, S. Ichikawa, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      7th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intra-center photonics2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      Collaborative Conference on Materials Research 2019 (CCMR2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intra-center photonics2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, K. Shiomi, Y. Sasaki, T. Inaba, S. Ichikawa, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      13th International Conference on Nitride Semiconductors 2019 (ICNS-13)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Enhancement of Eu luminescence in GaN:Eu via introduction of nanostructures and nanocavities2019

    • Author(s)
      J. Tatebayashi, D. Timmerman, S. Ichikawa, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      Asia Pacific Society for Materials Research 2019 (APSMR2019) Annual Meeting
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Manipulation of Eu emission from GaN using control of photon fields2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, D. Lebrun, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Wavelength-stable and narrow-band red LED for monolithic micro-LED display2019

    • Author(s)
      B. Mitchell, R. Wei, D. Timmerman, T. Gregorkiewicz, Y. Fujiwara, and V. Dierolf
    • Organizer
      7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Localized surface-plasmon-enhanced GaN:Eu-based red light-emitting diodes with silver nanoparticles2019

    • Author(s)
      J. Tatebayashi, D. Timmerman, S. Ichikawa, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Manipulation of Eu emission from GaN by control of photon fields toward micro-LED display2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, D. Lebrun, and J. Tatebayashi
    • Organizer
      4th International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN 2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Excitation dynamics and efficiency of luminescence of Eu in GaN2019

    • Author(s)
      D. Timmerman, E. Matsubara, L. Gomez, T. Gregorkiewicz, M. Ashida, and Y. Fujiwara
    • Organizer
      4th International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN 2019)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intracenter photonics: GaN-based red LED for monolithic micro-LED display2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara
    • Organizer
      3rd IMS-INSD Joint Workshop on Frontier Nanomaterials, “Opto-science and engineering using nanomaterials for fundamentals and applications”
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intracenter photonics: Eu-doped GaN-based red LED for monolithic micro-LED display2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara
    • Organizer
      Display Innovation CHINA 2019/Beijing Summit
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Development of semiconductors intracenter photonics: Eu-doped GaN-based red LED for monolithic micro-LED display2019

    • Author(s)
      Y. Fujiwara
    • Organizer
      USM-Osaka University Joint Colloquium
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] ナノ構造及び共振器導入によるEu添加窒化物半導体の高輝度化2019

    • Author(s)
      舘林潤、D. Timmerman、市川修平、藤原康文
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] マイクロLEDディスプレイに資する狭帯域・波長超安定Eu添加GaN赤色LEDの新展開2019

    • Author(s)
      藤原康文
    • Organizer
      OPIE特別セミナー「マイクロLED~日本発の次世代ディスプレイの実現へ」
    • Invited
  • [Presentation] 半導体イントラセンター・フォトニクスの開拓 ~電気を流して希土類イオンを光らせる~2019

    • Author(s)
      藤原康文、市川修平、舘林潤
    • Organizer
      第35回希土類討論会
    • Invited
  • [Presentation] 赤色発光 GaN-LED の開発と次世代マイクロLEDディスプレーの取り組み2019

    • Author(s)
      藤原康文
    • Organizer
      第36回FPDフォーラム
    • Invited
  • [Presentation] 超高精細マイクロLEDディスプレイに資するEu添加GaN赤色LEDの開発  ~電気を流して希土類イオンを光らせる~2019

    • Author(s)
      藤原康文
    • Organizer
      センシング技術応用研究会第208回研究例会
    • Invited
  • [Presentation] 超高精細マイクロLEDディスプレイに資するEu添加GaN赤色LEDの高輝度化とRGB集積化2019

    • Author(s)
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • Organizer
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第220回研究集会「マイクロLED技術の現状と今後の展開」
    • Invited
  • [Remarks] Development of Semiconductor Intracenter Photonics

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=G9fMdSX7n7k

  • [Remarks] 大阪大学藤原研究室

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mse6/

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 表示装置およびその製造方法2019

    • Inventor(s)
      藤原康文、上野山雄、舘林潤、市川修平
    • Industrial Property Rights Holder
      藤原康文、上野山雄、舘林潤、市川修平
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2019-145022
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 近赤外発光半導体素子とその製造方法2019

    • Inventor(s)
      市川修平、吉岡尚輝、藤原康文、舘林潤
    • Industrial Property Rights Holder
      市川修平、吉岡尚輝、藤原康文、舘林潤
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2019-160339

URL: 

Published: 2021-12-27  

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