2021 Fiscal Year Research-status Report
Fatigue Lifetime of Micro Mirror on High Torsional Stress and Elucidation of Accelerated Fatigue Phenomena
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18K03836
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
泉 隼人 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (90578337)
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| Project Period (FY) |
2018-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | マイクロミラー / シリコン / 疲労 / 有限要素法解析 / PZT |
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| Outline of Annual Research Achievements |
マイクロミラーの試作をより確実に行うため、有限要素法解析に圧電要素と減衰を取り入れ、マイクロミラーのねじり応力と振動特性について検討した。減衰の小さい、真空に近い状態では、数ボルトの電圧を印加してミラーの共振周波数で駆動させることで、ミラーのトーションバーをねじり破壊させるために十分高い応力レベルが得られていることを確認した。また大気圧の減衰が大きく作用する場合においても、駆動電圧を大きくすることで髙ねじり負荷の状態での疲労試験が実現できることを確認した。これにより、圧電駆動に必要となる任意波形発生器および電圧増幅器を選定して納入した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
4: Progress in research has been delayed.
Reason
当初計画では、マイクロミラーの試作を開始する予定であったが、型コロナウィルス感染拡大防止措置による学外への移動や外部施設の利用の規制など、研究活動の制約が発生したことで、デバイスの製作や実験に着手するに至らなかった。
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| Strategy for Future Research Activity |
新型コロナウィルス感染拡大防止措置により、デバイスの試作を中断せざるえない事態となった。このため、補助事業期間延長の制度を利用して研究期間を1年間延長し、計画を遂行するために必要な時間を確保して成果を得ることを目指す。
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| Causes of Carryover |
コロナ禍の影響により研究活動の規制や外部機関でのデバイスの試作や観察実験が困難になったため。
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