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2020 Fiscal Year Annual Research Report

Development of integrated optical biosensor using SOI photodiode with SP antenna

Research Project

Project/Area Number 18K04261
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

佐藤 弘明  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00380113)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 猪川 洋  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (50393757)
Project Period (FY) 2018-04-01 – 2021-03-31
Keywords集積化バイオセンサー / ラベルフリー / 表面プラズモンアンテナ / SOIフォトダイオード
Outline of Annual Research Achievements

本研究で提案した集積化光学バイオセンサーにおいて、検体に対する屈折率変化の測定限界(雑音等価屈折率変化)が、既存で大型な光学バイオセンサーよりも同等かそれ以下に到達させることを主要な目標として研究を進めた。最終年度まで得られた屈折率変化の測定限界は、1×10の-5乗 RIU (RIUは屈折率単位)を少し上回るところまで到達し、他の光学バイオセンサーの性能に比肩しうる値となったものの、10の-6乗RIU台へは信号雑音の抑制が計画通りに進まず、到達できなかった(測定限界 = 雑音レベル / 屈折率変化に対する信号変化)。試作デバイスに検体水溶液を導入する前は雑音レベルが低かったため、主要な問題は検体水溶液の導入に伴うものと考えられる。特に絶縁材料によって分離された電極間が水溶液によって短絡すると、屈折率変化に伴う信号に雑音が重畳する。試作したバイオセンサーは、測定を繰り返すことによって雑音信号が増加していたため、使用した絶縁材料の水溶液に対する耐久性が疑わしい。より強固な絶縁材料に変更する必要があったと推測している。もう一つ考慮すべき点は導入水溶液の温度や圧力の変化への対応であった。温度変化に対しては独自の補償方法を本研究において提案するとともに、その効果を実証している。一方の圧力変化については、最終年度に自動送液システムを導入して対応した。特に手動で検体を切り替えていた際の急激な圧力変化が抑制され、出力信号の揺らぎの低減につながった。
本研究では、提案バイオセンサー単体の性能向上だけではなく、複数のバイオセンサーを集積化し、生体分子検出の効率化も計画した。アレイ状に配列したバイオセンサーチップを実際に試作した。また、バイオセンサーのごく近傍に温度センサーを配置し、検体温度を高精度に補償できたことは、集積回路の特徴を活かした大きな成果である。

  • Research Products

    (13 results)

All 2021 2020 Other

All Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 2 results) Presentation (9 results) (of which Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Angle-Sensitive Detector Based on Silicon-On-Insulator Photodiode Stacked with Surface Plasmon Antenna2020

    • Author(s)
      Nagarajan Anitharaj、Hara Shusuke、Satoh Hiroaki、Panchanathan Aruna Priya、Inokawa Hiroshi
    • Journal Title

      Sensors

      Volume: 20 Pages: 5543_1~14

    • DOI

      10.3390/s20195543

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Performance Comparison of SOI-Based Temperature Sensors for Room-Temperature Terahertz Antenna-Coupled Bolometers: MOSFET, PN Junction Diode and Resistor2020

    • Author(s)
      Elamaran Durgadevi、Suzuki Yuya、Satoh Hiroaki、Banerjee Amit、Hiromoto Norihisa、Inokawa Hiroshi
    • Journal Title

      Micromachines

      Volume: 11 Pages: 718_1~16

    • DOI

      10.3390/mi11080718

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Angular selectivity of SOI photodiode with surface plasmon antenna2020

    • Author(s)
      Nagarajan Anitharaj、Hara Shusuke、Satoh Hiroaki、Panchanathan Aruna Priya、Inokawa Hiroshi
    • Journal Title

      IEICE Electronics Express

      Volume: 17 Pages: 20200187_1~6

    • DOI

      10.1587/elex.17.20200187

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Performance Estimation of Single-Charge Counting Photon Detectors2021

    • Author(s)
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 金属ナノ微粒子膜の高周波整流特性の検討2021

    • Author(s)
      岩田賢明, 西村智紀, アルカ シン, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Performance Improvement of THz Microbolometer by Folded-Dipole Antenna2021

    • Author(s)
      Arie Pangesti Aji, Hiroaki Satoh, Catur Apriono, Norihisa Hiromoto, and Hiroshi Inokawa
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 熱フィードバック発振器による熱伝導度・熱容量の実時間測定2021

    • Author(s)
      城取恭平, 笠原健太郎, 寄神寿明, 五井悠仁, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] High-Frequency Rectifying Characteristics of Si Nanowire Single-Electron Transistor2021

    • Author(s)
      Alka Singh, Shogo Matsumoto, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Silicon-on-insulator photodiode with surface plasmon antenna and its applications2021

    • Author(s)
      Hiroaki Satoh
    • Organizer
      International Conference on Research and Development in Science, Engineering and Technology
    • Invited
  • [Presentation] SPアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた生体分子間相互作用の検出における測定条件の最適化2020

    • Author(s)
      磯谷滉希、佐藤弘明、竹内 州、猪川 洋
    • Organizer
      光・電波ワークショップ
  • [Presentation] Polarization Dependence of Incident Angle Sensitivity in SOI Photodiode with 2D Hole Array Grating2020

    • Author(s)
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Hiroaki Satoh, Aruna Priya Panchanathan, and Hiroshi Inokawa
    • Organizer
      IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
  • [Presentation] Photon-number Statistics Observed by SOI MOSFET Single-Photon Detector with Real-time Signal Processing2020

    • Author(s)
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • Organizer
      IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
  • [Remarks] 静岡大学教員データベース

    • URL

      https://tdb.shizuoka.ac.jp/ResearcherDB/public/Default2.aspx?id=10821&l=0

URL: 

Published: 2021-12-27  

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