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2021 Fiscal Year Annual Research Report

Dynamic direct observation of surface/interface transition process in ultrasonic welding

Research Project

Project/Area Number 18K04769
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

岩本 知広  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 (60311635)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 永野 隆敏  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 講師 (70343621)
篠嶋 妥  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 (80187137)
Project Period (FY) 2018-04-01 – 2022-03-31
Keywords透過型電子顕微鏡 / その場観察 / 超音波接合
Outline of Annual Research Achievements

本研究では透過型電子顕微鏡内に超音波接合装置を組み込むことで、接合過程における微細組織変化を、直接その場観察により明らかにしようと試みた。装置の開発においては、透過型電子顕微鏡観察可能な薄片化した2枚の試料を、安定に高精度で接触させることが出来る試料ホルダーを製作した。この試料ホルダーは固定ステージと3軸方向に移動可能な可動ステージからなる機構を有している。可動機構はピエゾ素子による3軸微動とピエゾ素子とステッピングモーターによる3軸粗動を組み合わせた。さらにこの可動軸に超音波振動子を組み込んだ。これにより可動ステージに固定した試料が超音波振動し、それを固定ステージにセットされた試料に接触させることにより、超音波接合が可能になる機構を開発することが出来た。実際にホルダーに試料を取り付け観察しながら超音波発振させたところ、試料は所定の周波数で振動し、さらに振動エネルギーを増加させると振幅が増加することが確認された。
この開発試料ホルダーに2枚のAlの薄片試料を取り付け超音波接合する実験を行ったところ、接合中に多数のナノ結晶が接合界面近傍に生成した。これらのナノ結晶は薄片試料間を動き回り、大きく成長したり、試料間に集積することで微細粒領域を形成した。超音波接合後に接合界面に微細粒を有する試料に引張試験を行ったところある程度の強度を有していることが確認され、微細粒領域が接合界面形成に一定の寄与をしていることが示唆された。
接合過程のコンピューターシミュレーションでは、原子レベルでありながら長時間のシミュレーションが可能な、フェーズフィールドクリスタル法を接合に応用した。これにより接合される2つの結晶の相対方位角が変化すると界面構造、空孔数、系のエネルギー値が大きく異なることが分かった。

  • Research Products

    (7 results)

All 2022 2021

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (5 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] ウェッジボンディングにおける接合界面形成過程2022

    • Author(s)
      堀内涼太郎、岩本知広、濱田賢佑
    • Journal Title

      Mate2022

      Volume: 2 Pages: 112,113

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] フェーズフィールドクリスタル法による加圧ボンディングプロセスの シミュレーション2022

    • Author(s)
      篠嶋妥、小野澤亮祐、畠山慎悟、岩本知広
    • Journal Title

      Mate2022

      Volume: 2 Pages: 242,243

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 超音波接合のその場観察法の開発2022

    • Author(s)
      大谷良美、岩本知広
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第78回学術講演会
  • [Presentation] ウェッジボンディングにおける接合界面形成過程2022

    • Author(s)
      堀内涼太郎、岩本知広、濱田賢佑
    • Organizer
      第28回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム
  • [Presentation] フェーズフィールドクリスタル法による加圧ボンディングプロセスの シミュレーション2022

    • Author(s)
      篠嶋妥、小野澤亮祐、畠山慎悟、岩本知広
    • Organizer
      第28回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム
  • [Presentation] 超音波接合過程のその場観察2021

    • Author(s)
      岩本知広、堀内涼太郎、濱田賢佑
    • Organizer
      溶接学会秋季全国大会
  • [Presentation] 超音波接合界面の微細組織2021

    • Author(s)
      岩本知広
    • Organizer
      表面分析研究会
    • Invited

URL: 

Published: 2022-12-28  

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