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2020 Fiscal Year Annual Research Report

Development of Novel Electron Emitter for Photon Enhanced Thermionic Emission Using Thin Film Semiconductor Material

Research Project

Project/Area Number 18K04934
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

荻野 明久  静岡大学, 工学部, 准教授 (90377721)

Project Period (FY) 2018-04-01 – 2021-03-31
Keywords二硫化モリブデン / 窒化アルミニウムガリウム / 熱電子放出
Outline of Annual Research Achievements

光支援熱電子発電は半導体を電子エミッタとして用いることで、熱による効果と光の量子効果を同時に発電に利用することができる。本研究は600 ℃程度で動作する光支援熱電子エミッタとして、バンドギャップを調整できる二硫化モリブデン(MoS2)および窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)に注目している。
バルクのMoS2のバンドギャップは約1.2 eVであるが、単層MoS2薄膜のバンドギャップは1.8 eVとなり、層数によるバンド構造制御が期待できる。本研究ではCVD法により合成した単層および数層のMoS2薄膜に窒素プラズマによる窒素原子注入を実施した。プラズマ処理した2および3層のMoS2薄膜を解析した結果、膜中の硫黄原子の一部が窒素原子に置換され、フェルミ準位が価電子帯側へ0.5 eV遷移しp型化することがわかった。バンドギャップとフェルミ準位は内部光電効果に関与し、作成したMoS2薄膜は光支援熱電子放出において可視光を有効に利用できる可能性がある。
光支援熱電子放出における熱の利用効率を高めるには、電子親和力の低減が重要となる。本研究ではAlGaN表面をセシウムで被覆し、光支援熱電子放出における電子親和力の低減効果について検討した。AlGaNはAl組成比を変えることで、GaNのバンドギャップである3.4 eVからAlNの6.2 eVをカバーでき、熱的安定性も高いことから、電子親和力の影響を検討しやすいと考えた。熱電子放出特性を評価した結果、Al組成比の増加とともに仕事関数が減少し電子放出電流が増加する一方で、さらにAl組成比を増加させると高抵抗化し電子放出が減少に転じることがわかった。また、従来の金属熱電子源よりも圧倒的に低い330 ℃での熱電子放出を観測し、低温域においても発電することを実証した。なお、電源として実用化するには出力が十分といえず高出力化が必要である。

  • Research Products

    (8 results)

All 2021 2020

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Open Access: 1 results) Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Surface polarity dependence of thermionic emission and conversion characteristics of n-type GaN cathodes2021

    • Author(s)
      Shigeya Kimura, Hisashi Yoshida, Hisao Miyazaki, Takuya Fujimoto, Akihisa Ogino
    • Journal Title

      J. Vac. Sci. Technol.

      Volume: B39 Pages: 014201-1-7

    • DOI

      10.1116/6.0000710

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] CVD法によるMoS2の形態制御とプラズマ処理による硫黄欠陥密度の最適化2021

    • Author(s)
      浅田 柊哉、荻野 明久
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 高Al組成AlGaN薄膜からの熱電子放出特性における酸素の影響2021

    • Author(s)
      藤本 拓矢、木村 重哉、吉田 学史、宮崎 久生、荻野 明久
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Effect of Si Doping Concentration of N-Type AlGaN on Thermionic Emission2021

    • Author(s)
      Takuya Fujimoto, Akihisa Ogino, Shigeya Kimura, Hisashi Yoshida, Hisao Miyazaki
    • Organizer
      ISPlasma2021 / IC-PLANTS2021
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Basal Plane Modification of CVD-Grown Monolayer MoS2 by Hydrogen Plasma Treatment2021

    • Author(s)
      Shuya Asada, Akihisa Ogino
    • Organizer
      ISPlasma2021 / IC-PLANTS2021
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] プラズマ処理を用いたMoS2薄膜の硫黄欠陥形成と酸素結合の影響2020

    • Author(s)
      浅田 柊哉, 荻野 明久
    • Organizer
      第37回プラズマ・核融合学会年会
  • [Presentation] マイクロ波プラズマを用いたMoS2の硫黄欠陥形成と窒素ドーピング2020

    • Author(s)
      都築 聖親, 荻野 明久
    • Organizer
      第37回プラズマ・核融合学会年会
  • [Presentation] Polarity-dependent emission and conversion characteristics of GaN-based thermionic cathodes2020

    • Author(s)
      Shigeya Kimura, Hisashi Yoshida, Hisao Miyazaki, Takeshi Ito, Akihisa Ogino
    • Organizer
      33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC)
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2021-12-27  

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