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2021 Fiscal Year Research-status Report

C60イオンに対する阻止能は炭素イオンの60倍か?~二次粒子測定によるアプローチ

Research Project

Project/Area Number 18K05005
Research InstitutionNational Institutes for Quantum Science and Technology

Principal Investigator

鳴海 一雅  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 放射線高度利用施設部, 次長 (90354927)

Project Period (FY) 2018-04-01 – 2023-03-31
Keywords阻止能 / C60イオン / スパッタリング / 二次電子放出
Outline of Annual Research Achievements

従来の重イオンをはるかに超える高密度エネルギー付与のツールとしてビーム利用の拡大が期待されるフラーレンイオンについて、「C60イオンに対する固体標的の阻止能が、同じ速度の炭素イオンに対する阻止能の60倍になるのか?」という疑問に答えることを全体構想とする。令和3年度は、前年度に引き続き、核的阻止能と密接に関係するスパッタリング収量を炭素標的について測定した。測定には、量子科学技術研究開発機構高崎量子応用研究所イオン照射研究施設(TIARA)の400kVイオン注入装置、3MVタンデム加速器を使用し、30 keV~9 MeVのC60イオン、及びC60イオンと同じ速度のC70イオン、Cイオンを用いた。現在、結果を解析中である。また、前年度からの懸案として、Cイオンによる金のスパッタリング収量がSRIM2008コードによるシミュレーション結果、及びSigmundの線形衝突カスケード理論による予測より1桁程度大きいという問題が残っていた。水晶振動子の周波数変化をスパッタリング収量(金薄膜の厚さの減少)に変換する較正方法の問題だと示唆する予備的結果が得られていたことから、スパッタリングによる金薄膜の厚さの減少をラザフォード後方散乱法によって測定することにより周波数変化とスパッタリング収量との関係(較正係数)を求めた。この較正係数を用いると、シミュレーション結果及び理論による予測と実験結果の間の不一致が解消されたことから、較正係数に問題があったことが明らかになった。一方、電子的阻止能に密接に関係する二次電子収量の測定を開始した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

炭素のスパッタリング収量の測定を終え、二次電子収量の測定を開始したものの、前者のデータ解析が済んでいないことから当初の研究実施計画よりも若干遅れているものと判断する。

Strategy for Future Research Activity

炭素標的についてスパッタリング収量測定の結果をまとめ、C60イオン、C70イオンの結果と、同じ速度のCイオンの結果との比較・検討を行う。さらに、核的阻止能を支配する要因である標的元素の原子番号・質量数の効果を明らかにするために、金のスパッタリング収量の結果と比較する。一方、電子的阻止能の比を評価するための二次電子収量の測定については、TIARAの400kVイオン注入装置、3MVタンデム加速器を用いたC60イオン衝撃により炭素薄膜標的から放出される二次電子収量の測定を継続し、同じ速度のCイオン衝撃による結果と比較、電子的阻止能の比を評価・検討する。

Causes of Carryover

次年度使用額が生じたのは、今年度実施された国内学会がオンライン開催になったこと、実施が予定されていた国際会議が延期になったことの2つの理由により旅費の執行に余裕ができたためである。この次年度使用額は国内学会及び国際会議に参加するための旅費・参加費に使用する計画である。

Remarks

研究発表:鳴海 一雅、山田 圭介、平野 貴美、千葉 敦也、百合 庸介、齋藤 勇一、「C60、C70イオンによる金スパッタリングの非線形効果」、QST高崎サイエンスフェスタ2021、2021年12月8日
招待講演:鳴海 一雅、「C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定」、応用物理学会ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会2021年(令和3年)第1回研究会、2021年11月5日

  • Research Products

    (1 results)

All 2022

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Open Access: 1 results)

  • [Journal Article] Sputtering Yields of Si Bombarded with 10-540-keV C60 Ions2022

    • Author(s)
      Narumi Kazumasa、Naramoto Hiroshi、Yamada Keisuke、Chiba Atsuya、Saitoh Yuichi
    • Journal Title

      Quantum Beam Science

      Volume: 6 Pages: 12~12

    • DOI

      10.3390/qubs6010012

    • Peer Reviewed / Open Access

URL: 

Published: 2022-12-28  

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