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2018 Fiscal Year Research-status Report

高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅

Research Project

Project/Area Number 18K19037
Research InstitutionWaseda University

Principal Investigator

柳谷 隆彦  早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (10450652)

Project Period (FY) 2018-06-29 – 2021-03-31
Keywords圧電薄膜
Outline of Annual Research Achievements

スマートフォン向けの周波数フィルタは国際ローミングの影響で一台に50個以上搭載され、高いものでは1個数十円以上にもなり、10年後の大きな市場に向けて各メーカが凌ぎを削っている。このフィルタの圧電材料の電気機械結合係数が大きいほど通過帯域を広くすることができ、挿入損失も低くすることができる。そんななか近年、希土類のScをAlNにドープした薄膜において、大きな電気機械結合係数が得られることが発見され、実用化されつつある。
本研究では、高価なScの代替材料として安価で中国に依存しない元素(以後Reと記載)に注目した。低酸素、低炭素の希土類スパッタターゲット作製プロセスを構築し、ReとAlNの組み合わせおいて圧電性特性を調べた。自作の電子ビーム照射による真空溶融装置を用いて、炭素るつぼ内でReとAlを昇温還元・合金化した。高真空チャンバー内で熱電子放出により電子ビームを発生させて照射・昇温させる。この低酸素、低炭素の精製プロセスにより作製したReAlN圧電薄膜のXRDパターンを測定した。 (0002)ピークが観測されc軸方向に優先配向していることが確認できた。しかしながら、結晶化度はさほど高くなく下地の高配向Ti電極のピークに近い強度になっている。ロッキングカーブ半値幅は3.0°と改善に余地はあるが音波励振には十分な配向性であった。
次に薄膜音響共振子(HBAR)を作製し、ネットワークアナライザを用いてRF電力を印加し、UHF帯において、超音波の送波・受波を試みた。時間波形信号をフーリエ変換して得た変換損失の周波数応答を測定した。500MHz付近の薄膜の厚み縦共振点で変換損失が小さくなり、超音波を効率良く送受波していることが確認された。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

今回XRDパターンでは (0002)ピークが観測されc軸方向に優先配向していることが確認できた。しかしながら、結晶化度はさほど高くなく下地の高配向Ti電極のピークに近い強度になっている。ロッキングカーブ半値幅は3.0°と改善に余地はあるが音波励振には十分な配向性を得ることができた。
次に薄膜音響共振子(HBAR)を作製し、ネットワークアナライザを用いてRF電力を印加し、UHF帯において、超音波の送波・受波を試みている。時間波形信号をフーリエ変換して得た変換損失の周波数応答を測定した結果、500MHz付近の薄膜の厚み縦共振点で変換損失が小さくなり、超音波を効率良く送受波していることが確認された。以上のことから当初の計画以上に進展している。

Strategy for Future Research Activity

今回、電気機械伝送回路モデルを用いて計算した理論変換損失カーブと、共振点の最小変換損失で比較することにより、電気機械結合係数 kt2を見積もった。その結果、kt2=4.8%となり、結晶化度と配向性が不十分な割には良好な値を得た。今後さらに低酸素化を進めて結晶性を向上し、圧電性を調査していく。

Causes of Carryover

当初の予定より消耗品材料を研究室在庫でまかなえたため、実験の分量の多い次年度に持ち越す。

  • Research Products

    (58 results)

All 2019 2018

All Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 3 results) Presentation (55 results) (of which Int'l Joint Research: 22 results,  Invited: 6 results)

  • [Journal Article] "Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field,"2019

    • Author(s)
      T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 114 Pages: 212902

    • DOI

      10.1063/1.5089554

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] “ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ?80 MHz,”2018

    • Author(s)
      K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • Journal Title

      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.

      Volume: 65 Pages: 2097 - 2102

    • DOI

      10.1109/TUFFC.2018.2865791

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] “Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”2018

    • Author(s)
      M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani and M. Matsukawa
    • Journal Title

      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.

      Volume: 65 Pages: 1882-1887

    • DOI

      10.1109/TUFFC.2018.2854710

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Presentation] c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜構造の共振子を用いた 400MHz 付近における液体粘性評価2018

    • Author(s)
      山川 愉生、五月女 巧、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] c 軸傾斜配向すべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体反応検出2018

    • Author(s)
      矢崎 花、五月女 巧、唐澤 嶺、高柳 真司、吉田 憲司、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] PZT エピタキシャル厚膜を用いた 80 MHz 帯の超音波トランスデューサ2018

    • Author(s)
      松田 友佳、清水 貴博、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 大きな圧電性を持つ ScAlN 自立薄板を用いた 30?40 MHz 帯振動子2018

    • Author(s)
      正宗 千明、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 周波数スイッチナブルフィルタを目指した分極反転 PZT/PbTiO3エピタキシャル薄膜共振子2018

    • Author(s)
      清水 貴博、森 剛志、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 大きな電気機械結合係数 (kt 2 =22%) を持つ ScAlN 薄膜2018

    • Author(s)
      白 寧蕊、正宗 千明、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 溶融及び焼結 ScAl 合金ターゲットからの負イオン照射が ScAlN 薄膜成長へ及ぼす影響2018

    • Author(s)
      遠藤 結佳、唐澤 嶺、高柳 真司、今川 誠、森坂 啓介、鈴木 雄、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 基板付き薄膜構造における高次モード間共振周波数比を用いた圧電薄膜の kt 2 評価法2018

    • Author(s)
      戸塚 誠、柳谷 隆彦
    • Organizer
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • [Presentation] 「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
  • [Presentation] 「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」2018

    • Author(s)
      清水貴博、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」2018

    • Author(s)
      唐澤嶺、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」2018

    • Author(s)
      正宗千明、松田友佳、唐澤嶺、清水貴博、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」2018

    • Author(s)
      唐澤嶺、遠藤結佳、高柳真司、今川誠、森坂啓介、鈴木雄、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」2018

    • Author(s)
      木下紗里那、戸塚誠、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」2018

    • Author(s)
      戸塚誠、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」2018

    • Author(s)
      野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」2018

    • Author(s)
      矢崎花、唐澤嶺、吉田憲司、高柳真司、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」2018

    • Author(s)
      間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
    • Organizer
      第47回EMシンポジウム
  • [Presentation] 「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      アルバックシンポジウム
  • [Presentation] New BAW filter materials for 5G smart phone2018

    • Author(s)
      T. Yanagitani
    • Organizer
      LG化学 Tech Scouting Japan
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」2018

    • Author(s)
      清水貴博、柳谷隆彦
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」2018

    • Author(s)
      清水貴博、柳谷隆彦
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第168回電子セラミック・プロセス研究会
  • [Presentation] 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」2018

    • Author(s)
      矢崎花、五月女巧、唐澤 嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」2018

    • Author(s)
      山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ~ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ~」2018

    • Author(s)
      戸塚誠、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」2018

    • Author(s)
      清水貴博、森剛志、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~」2018

    • Author(s)
      唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] “Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz" 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics,”2018

    • Author(s)
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • Organizer
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”2018

    • Author(s)
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • Organizer
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”2018

    • Author(s)
      R. Noda and T. Yanagitani
    • Organizer
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”2018

    • Author(s)
      T. Yanagitani
    • Organizer
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”2018

    • Author(s)
      Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, and T. anagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”2018

    • Author(s)
      M. Totsuka and T. Yanagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”2018

    • Author(s)
      T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”2018

    • Author(s)
      Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”2018

    • Author(s)
      H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”2018

    • Author(s)
      S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”2018

    • Author(s)
      R. Noda, T. Shimidzu, and K. Wasa
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”2018

    • Author(s)
      T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”2018

    • Author(s)
      C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”2018

    • Author(s)
      Y. Mazuda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”2018

    • Author(s)
      Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”2018

    • Author(s)
      H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”2018

    • Author(s)
      Y. Yamakawa and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”2018

    • Author(s)
      M. Totsuka and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”2018

    • Author(s)
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”2018

    • Author(s)
      R. Karasawa and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 分極反転圧電薄膜材料の進展と超音波デバイス応用2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      日本音響学会研究発表会
    • Invited
  • [Presentation] 分極反転電圧薄膜の成長と応用~レクテナ昇回路へ検討~2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第46回EMシンポジウム
    • Invited
  • [Presentation] 「Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method」2018

    • Author(s)
      T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
    • Organizer
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 最新のBAW デバイス材料の研究と応用2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      マイクロナノ先端技術交流会
    • Invited
  • [Presentation] 圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第4回分科会ワークショップ
    • Invited
  • [Presentation] 最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法2018

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      第65回応用物理学会学術講演会
    • Invited

URL: 

Published: 2021-01-27  

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