超高分解能観察の実現に向けた近接場光位相共役によるサブ波長ピッチ空間変調照明

2020 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 18KK0403
• Research Institution: Shizuoka University
• Principal Investigator: 臼杵 深 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60508191)
• Project Period (FY): 2019 – 2021
• Keywords: FDTD法 / 近接場光学 / エバネッセント波 / 光位相共役 / デジタル位相共役鏡 / 位相シフト干渉法 / SLM / 波面計測

Outline of Annual Research Achievements

提案手法であるサブ波長ピッチ空間変調照明生成システムは，「波面計測」，「位相マップ計算」，「位相共役光の再生」で構成されている．本研究では、，これまでにFDTDシミュレーションで提案手法の有効性検証を行った．2020年度においては，提案システムの要素技術である光位相共役に不可欠な散乱波面計測について実験的に検討を行った．高分解能波面計測が可能な位相シフト干渉法を用いたデジタル光位相共役鏡について研究開発を行った．

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

これまでに，FDTDシミュレーションによる提案手法の有効性確認，位相シフト干渉計による散乱波面計測装置の開発，位相共役マップ計算手法の確立，SLMによる位相共役光の再生，を行うことができた．ただし，新型コロナウイルス感染症の影響により渡航ができなかったため，やや遅れが生じていると判断した．

Strategy for Future Research Activity

2020年度に予定していた渡航が新型コロナウイルス感染症の影響を受け延期となり，2021年度においても渡航の目途は立っていないが，実際の渡航までの期間においては，渡航後に迅速に研究の実施にとりかかることができるよう準備を整える．実際に渡航できたあかつきには，これまでに開発したプロトタイプを基に，渡航先外国機関において，フィードバック干渉計による高精度化およびイメージングシステムへの応用を行う．

Research Products

• [Journal Article] Interpolation of Point Sequences with Extremum of Curvature by Log-aesthetic Curves with G2 continuity (2020)
  • Author(s): Dan Wang, R.U. Gobithaasan, Tadatoshi Sekine, Shin Usuki, Kenjiro T. Miura
  • Journal Title: Computer-Aided Design and Applications Volume: 18 Pages: 399-410
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] τ-curve -Introduction of Cusps to Aesthetic Curves (2020)
  • Author(s): K.T. Miura, S. Suzuki, S. Usuki, R.U. Gobithaasan
  • Journal Title: Journal of Computational Design and Engineering Volume: 7 Pages: 155-164
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Presentation] 高分解能光パターニングのための散乱波面計測 (2021)
  • Author(s): 小野田寛大, 佐瀬優志, 臼杵深, 關根惟敏, 三浦憲二郎
  • Organizer: 2021年度精密工学会春季大会学術講演会
• [Presentation] 近接場位相共役レンズによるパターニング (2020)
  • Author(s): 小野田寛大, 佐瀬優志, 臼杵深, 關根惟敏, 三浦憲二郎
  • Organizer: 日本光学会年次学術講演会