Developing new fabrication methods of nanotube-contained waveguides and improving device functionalities

2008 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 19023012
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: Science and Engineering
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: SAKAKIBARA Youichi National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 光技術研究部門, 主任研究員 (40357091)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): KAJI Ryosaku 独立行政法人産業技術総合研究所, 情報技術研究部門, 研究員 (70356765)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Keywords: ナノチューブ / フラーレン / 先端機能デバイス

Research Abstract

カーボンナノチューブの可飽和吸収効果を利用する光通信用超高速非線形導波路デバイスを作製するために、ナノチューブがポリイミド中に分散された材料をコア形状に加工する新規の技術を開発した。高精細フォトリソグラフィと酸素ドライエッチングによる方法、感光性ポリイミドの露光と現像による方法、細い溝にポリイミドを流しこむ方法により、それぞれに特色ある埋め込み型導波路を作製でき、可飽和吸収機能の発現を確認した。

Research Products

• [Presentation] 単層カーボンナノチューブ分散ポリイミドを用いたシングルモード光導波路の導波特性 (2009)
  • Author(s): 影山徳典
  • Organizer: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学
  • Year and Date: 2009-03-31
• [Presentation] 酸素RIE 高耐性フォトレジストを用いたカーボンナノチューブ含有非線形光導波路の作製 (2009)
  • Author(s): 市村直也
  • Organizer: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学
  • Year and Date: 2009-03-31
• [Presentation] 感光性ポリイミドによるカーボンナノチューブ含有非線形光導波路の作製技術の改善 (2008)
  • Author(s): 影山徳典
  • Organizer: 第69回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 中部大学
  • Year and Date: 2008-09-02
• [Presentation] 偏光依存性の小さいカーボンナノチューブ含有非線形光導波路の作製 (2008)
  • Author(s): 大室俊之
  • Organizer: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 日本大学 (船橋)
  • Year and Date: 2008-03-30
• [Presentation] 高精度フォトレジストを用いたカーボンナノチューブ含有光導波路作製 (2008)
  • Author(s): 影山徳典
  • Organizer: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 日本大学 (船橋)
  • Year and Date: 2008-03-30
• [Presentation] 感光性ポリイミドによるカーボンナノチューブ含有非線形光導波路の作製 (2007)
  • Author(s): 大室俊之
  • Organizer: 第68回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 北海道工業大学
  • Year and Date: 2007-09-04
• [Presentation] Nonlinear Carbon-Nanotube Photonics (2007)
  • Author(s): Y. Sakakibara
  • Organizer: OSA Topical Meeting on Nonlinear Photonics
  • Place of Presentation: Quebec (Canada)
  • Year and Date: 2007-09-04
• [Presentation] Carbon Nanotube-Polyimide Saturable Absorbing Waveguide Made by Simple Photolithography (2007)
  • Author(s): T. Oomuro
  • Organizer: Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO) 2007
  • Place of Presentation: Baltimore (USA)
  • Year and Date: 2007-05-10