2009 Fiscal Year Self-evaluation Report
Study of optical micro systems by monolithic integration of silicon with nitride semiconductor
| Project/Area Number |
19106007
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
HANE Kazuhiro Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2011
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| Keywords | 光デバイス / 集積化 / MEMS |
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| Research Abstract |
本研究の目的は,シリコンの立体構造およびマイクロアクチュエータとGaN系光源デバイスをモノリシックに集積することで,高機能で集積度の高い光応用のマイクロシステム(MEMS:マイクロ電気機械システム)を実現することである.
具体的には次の4点である.(1)平面Si基板へGaN半導体を成長後,MEMS加工を施す手法の確立,(2)Si基板にMEMS基本構造を加工後にGaN半導体結晶を成長し,デバイスを製作する方法の確立.(3)Ga半導体のMEMS加工法の開発.(4)具体的なGaN-Si複合光MEMSとして,照明方向を制御できる配光光源,バイオ分析用集積型マイクロ分光システム,光スキャナー,波長可変レーザ,光インターコネクションなどを研究する
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