2008 Fiscal Year Final Research Report
A Newly Developed of Advanced Nano-pattern Generator with Large Work Area (ANGEL) and Investigation on the Nano-machinability
| Project/Area Number |
19206017
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
SHINNO Hidenori Tokyo Institute of Technology, 精密工学研究所, 教授 (40196639)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
YOSHIOKA Hayato 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
SAWANO Hiroshi 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (40514295)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | マザーマシン / ナノ加工 / ナノ加工特性 / ナノモーション制御 / 微細形状創成 |
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| Research Abstract |
本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
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[Remarks] "1 ナノメートル分解能持つ切削加工機開発東工大完全非接触の機械構造",p.14,科学技術・大学欄,日刊工業新聞 朝刊,2008年11月24 日
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[Remarks] "加工機向け駆動装置重量物,高精度に保持東工大 1万分の1度で制御",p.22,科学技術欄,日刊工業新聞朝刊,2009年4月10 日
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