• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2009 Fiscal Year Annual Research Report

狭バンドギャップIII-V-N混晶半導体量子ナノ構造の作製と物性応用

Research Project

Project/Area Number 19360003
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

尾鍋 研太郎  The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 教授 (50204227)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 片山 竜二  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (40343115)
Keywordsエピタキシャル成長 / III-V-N混晶 / 量子ナノ構造 / 量子ドット / InGaAsN
Research Abstract

本研究は、InAsN、InGaAsNなどInをその1成分として含むIII-V-N型混晶半導体を用いて、量子細線および量子ドットなど、量子ナノ構造を位置制御性の観点に重点をおきつつ作製する方法を確立し、その大きな量子閉じ込め効果など特徴的な物性に基づく量子ドットレーザーや単一電子トランジスタなどへの応用の基礎となる物性を明らかにすることを目的としている。最終年度となる平成21年度は、19および20年度の成果をふまえて、その目的に沿った以下のような成果を得た。
1)InP基板上のInPN薄膜MOVPE成長において、In原料のトリメチルインジウム(TMIn)とN原料のジメチルヒドラジン(DMHy)の間で生じる付加反応を回避するために原料分離供給法を用いることの有効性を実証した。
2)分離供給法を用いたInP基板上のInPN薄膜MOVPE成長を進め、500℃以下の成長温度において2次元成長が出現することを明らかにするとともに、成長温度460℃においてN濃度0.18%までの極めて平坦性に優れた混晶薄膜を実現した。成長層は成長の2次元/3次元を問わずInP基板に対してコヒーレントに歪んでいることを確認した。
3)Ge基板上のInGaAsN成長を進め、500~550℃の成長温度範囲で、In濃度11.5%、N濃度5.2%までの混晶組成制御を確立し、、In濃度11,5%、N濃度3.6%においてGe基板との格子整合薄膜を実現した。一般にドメイン成長が確認され、成長温度の上昇および格子整合度の増加とともにドメインサイズが増大することが明らかとなった。
4)MOVPE成長InGaAsN/GaAs T型量子細線のフォトルミネッセンス発光特性評価を進め、量子閉じ込め効果にもとづく高輝度発光を確認した。
5)GaAs基板上InGaPN薄膜の高輝度フォトルミネッセンス発光を確認した。

  • Research Products

    (12 results)

All 2010 2009 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (9 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Metastable cubic InN layers on GaAs(001)substrates grown by MBE : Growth condition and crystal structure2009

    • Author(s)
      S.Sanorpim, P.Jantawongrit, S.Kuntharin, C.Thanachayanont, T.Nakamura, R.Katayama, K.Onabe
    • Journal Title

      physica status solidi(c) 6

      Pages: S376-S380

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] MOVPE Growth of InN films Using 1,1-Dimethylhydrazine as a Nitrogen2009

    • Author(s)
      Q.T.Thieu, Y.Seki, S.Kuboya, R.Katayama, K.Onabe
    • Journal Title

      Journal of Crystal Growth 311

      Pages: 2802-2805

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] InP(001)基板上へのInPN薄膜のMOVPE成長2010

    • Author(s)
      関裕紀, 王彦哲, ティユクァントゥ, 窪谷茂幸, サクンタムサノーピン, 尾鍋研太郎
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学
    • Year and Date
      2010-03-18
  • [Presentation] Ge(001)基板上へのInGaAsN薄膜のMOVPE成長2010

    • Author(s)
      菊地健彦, ティユクァントゥ, 加藤宏盟, 窪谷茂幸, サクンタムサノーピン, 尾鍋研太郎
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学
    • Year and Date
      2010-03-18
  • [Presentation] ジメチルヒドラジンを窒素原料としたInNのMOVPE成長(4)2010

    • Author(s)
      ティユクァントウ、立川卓、菊地健彦、関裕紀、窪谷茂幸、尾鍋研太郎
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学
    • Year and Date
      2010-03-17
  • [Presentation] RF-MBE法によるYSZ(001)基板上立方晶InN及びInGaNの結晶成長2010

    • Author(s)
      中村桂土、角田雅弘、石田崇、窪谷茂幸、片山竜二、尾鍋研太郎
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学
    • Year and Date
      2010-03-17
  • [Presentation] MOVPE Growth of High Optical Quality InGaPN Layers on GaAs(001)Substrates2009

    • Author(s)
      D.Kaewket, S.Sanorpim, S.Tungasmita, R.Katayama, K.Onabe
    • Organizer
      8th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-8)
    • Place of Presentation
      Jeju, Korea
    • Year and Date
      2009-10-22
  • [Presentation] MOVPE growth of InN films by separate supply of TMIn and DMHy2009

    • Author(s)
      Q.T.Thieu, T.Nakagawa, Y.Seki, S.Kuboya, R.Katayama, K.Onabe
    • Organizer
      8th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-8)
    • Place of Presentation
      Jeju, Korea
    • Year and Date
      2009-10-20
  • [Presentation] Movpe Growth and Optical Characterization of InGaAsN T-shaped Quantum Wires Lattice-Matched to GaAs2009

    • Author(s)
      P.Klangtakail, S.Sanorpim, R.Katayama, K.Onabe
    • Organizer
      8th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-8)
    • Place of Presentation
      Jeju, Korea
    • Year and Date
      2009-10-20
  • [Presentation] ジメチルヒドラジンを窒素原料としたInNのMOVPE成長(3)2009

    • Author(s)
      ティユクァントウ、中川隆、関裕紀、窪谷茂幸、片山竜二、尾鍋研太郎
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山大学
    • Year and Date
      2009-09-10
  • [Presentation] MOVPE growth of InN films by separate supply of TMIn and DMHy2009

    • Author(s)
      Q.T.Thieu, T.Nakagawa, Y.Seki, S.Kuboya, R.Katayama, K.Onabe
    • Organizer
      28th Electronic Materials Symposium(EMS28)
    • Place of Presentation
      Biwako, Japan
    • Year and Date
      2009-07-08
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.onblab.k.u-tokyo.ac.jp/onblab/

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi