• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2008 Fiscal Year Final Research Report

Characterization of ErSiO superlattice crystals and development of light emitting devices for silicon photonics

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 19360005
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Applied materials science/Crystal engineering
Research InstitutionThe University of Electro-Communications

Principal Investigator

KIMURA Tadamasa  The University of Electro-Communications, 電気通信学部, 教授 (50017365)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) ISSHIKI Hideo  電気通信大学, 電気通信学部, 准教授 (60260212)
Project Period (FY) 2007 – 2008
Keywordsエルビウムシリケート / 自己整列結晶 / ゾルゲル法 / レーザーアブレーション / アップコンバーション / シリコンフォトニクス / 1.5μm発光素子 / 導波路型光増幅器
Research Abstract

高濃度Erを構成元素とするEr_2SiO_5結晶の作製プロセスを開発した。Er_2SiO_5光導波路を設計作製し,1480nm光の導波特性を評価し,高濃度Erによるグリーンのアップコンバーション発光を観測した。Er_xY_<2-x>SiO_5膜を作製し,x=~0.1で1.54μm発光強度がEr_2SiO_5の数倍から数十倍になることを見出した。シミュレーションによると~1mm長のEr_<0.1>Y_<1.9>SiO_5光導波路で10dBの利得が可能である。

  • Research Products

    (55 results)

All 2009 2008 2007 Other

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 8 results) Presentation (45 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] シリコンを光らせるにはどうすればよいのか=さまざまな発光機構とそれぞれの特徴2009

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Journal Title

      光アライアンス誌 20

      Pages: 1-7

  • [Journal Article] Phase separation growth of Er_2SiO_5 thin film in Si-rich ErSiO perform2009

    • Author(s)
      H.Isshiki, M.Oe, T.Samejima, T.Ushiyama, and T.Kimura
    • Journal Title

      Physica E 41

      Pages: 1055-1058

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Formation of highly oriented layer-structured Er_2SiO_5 films by pulsed laser deposition2009

    • Author(s)
      Tadamasa Kimura, Yasuhito Tanaka, Hiroshi Ueda, and Hideo Isshiki
    • Journal Title

      Physica E 41

      Pages: 1063-1066

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Toward Small Size Waveguide Amplifiers Based on Erbium Silicate for Silicon Photonics2008

    • Author(s)
      H.ISSHIKI, T.KIMURA
    • Journal Title

      IEICE Transaction on Electronics E91

      Pages: 138-144

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Demonstration of ErSiO superlattice crystal waveguide toward optical amplifiers and emitters2008

    • Author(s)
      H.Isshiki, T.Ushiyama, T.Kimura
    • Journal Title

      physica status solidi (a) 205

      Pages: 52-55

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] シリコン発光デバイス-現状と展望2008

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Journal Title

      光学(依頼解説論文) 37, 第1号

      Pages: 14-20

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Toward Small Size Waveguide Amplifiers Based on Erbium Silicate for Silicon Photonics2008

    • Author(s)
      H.ISSHIKI, T.KIMURA
    • Journal Title

      IEICE Transaction on Electronics vol.E91, No.2

      Pages: 138-144

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] シリコンをベースとする発光デバイス-現状と展望-2007

    • Author(s)
      一色秀夫、 木村忠正
    • Journal Title

      レーザー学会誌「シリコンフォトニクスの最前線」特集号、レーザー研究(依頼解説論文) 35、No.9

      Pages: 566-571

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] シリコンフォトニクスの現状と将来2007

    • Author(s)
      木村忠正
    • Journal Title

      レーザー学会誌「シリコンフォトニクスの最前線」特集号、レーザー研究(依頼解説論文) 35、No.9

      Pages: 548-549

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Fabrication and Evaluation of Self-organized Er_2SiO_5 Crystalline Films for the 1.5μm Emitters and Amplifiers in Silicon Photonics2009

    • Author(s)
      T.Kimura and H.Isshiki
    • Organizer
      2008 MRS Fall Meeting, MRS Symposium D : Rare-Earth Doping of Advanced Materials for Photonic Applications
    • Place of Presentation
      Boston, MA,USA(invited)
    • Year and Date
      2009-12-03
  • [Presentation] Influence of Upconversion on Er_2SiO_5 Waveguide Light Emitting Devices2009

    • Author(s)
      Hideo Isshiki, Takayuki Nakajima and Tadamasa Kimura
    • Organizer
      2008 MRS Fall Meeting, MRS Symposium D : Rare-Earth Doping of Advanced Materials for Photonic Applications
    • Place of Presentation
      Boston, MA,USA
    • Year and Date
      2009-12-03
  • [Presentation] Increase in excitation efficiency of Er^3+-related 1.53μm emission from Er_2SiO_5 crystallite embedded in SRSO2009

    • Author(s)
      M.Oe, Y.Fujiwara, H. Isshiki, T. Kimura
    • Organizer
      2008 MRS Fall Meeting, MRS Symposium D : Rare-Earth Doping of Advanced Materials for Photonic Applications
    • Place of Presentation
      Boston, MA, USA
    • Year and Date
      2009-12-03
  • [Presentation] Si過剰ErSiOアモルファス母材中のEr_2SiO_5固相成長の促進2009

    • Author(s)
      桝本欣生, 大江将己, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学, つくば市
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] Study on cooperative upconversion of Er_xY_<2-x>SiO_5 films fabricated by sol-gel2009

    • Author(s)
      T.Kimura, X.J.Wang, Y.Nakayama, T.Nakajima, and H.Isshiki
    • Organizer
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学, つくば市
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] 機能複合回路実装技術調査専門委員会活動報告(I・II・III)2009

    • Author(s)
      福岡義孝, 橋元伸晃, 新田秀人, 勝又雅昭, 折井靖光, 木村忠正, 倉持悟, 新井芳光, 春日部進
    • Organizer
      電気学会全国大会シンポジウム セッション(S-15)
    • Place of Presentation
      北海道大学,札幌
    • Year and Date
      2009-03-19
  • [Presentation] Structural Characterization and Photoluminescence Comparison of Er_2SiO_5 and Er_2O_3 Prepared by Sol-Gel Method2008

    • Author(s)
      X.J.Wang, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      2008 5th IEEE International Conference on Group IV Photonics (GFP)
    • Place of Presentation
      Hilton Sorrento Palace, Sorrento, Italy
    • Year and Date
      20080917-19
  • [Presentation] Crystalline Structure and Luminescence Properties of Er Silicates Fabricated on Si and SiO_2/Si by the Sol-Gel Method2008

    • Author(s)
      T. Kimura, X.J.Wang, T.Nakajima, M.Ohe, T.Ushiyama, and H.Isshiki
    • Organizer
      2008 5th IEEE International Conference on Group IV Photonics (GFP)
    • Place of Presentation
      Hilton Sorrento Palace, Sorrento, Italy
    • Year and Date
      20080917-19
  • [Presentation] Formation of highly-oriented layer-structured Er_2SiO_5 films by pulsed laser deposition2008

    • Author(s)
      Tadamasa Kimura, Yasuhito Tanaka, Hiroshi Ueda, and Hideo Isshiki
    • Organizer
      E-MRS 2008 Spring Meeting
    • Place of Presentation
      Strasbourg, France
    • Year and Date
      20080525-30
  • [Presentation] Phase separation growth of Er_2SiO_5 thin film in Si-rich ErSiO Preform2008

    • Author(s)
      H.Isshiki, M.Ohe, T.Samejima, T.Ushiyama, and T.Kimura
    • Organizer
      E-MRS 2008 Spring Meeting
    • Place of Presentation
      Strasbourg, France
    • Year and Date
      20080525-30
  • [Presentation] Er_2SiO_5結晶の発光特性と光導波路増幅器への応用「新世代光通信へのイノベーション2008

    • Author(s)
      一色秀夫、牛山智幸、中島崇之、王興軍、木村忠正
    • Organizer
      第3回公開シンポジウム
    • Place of Presentation
      ホテルフロラシオン青山(東京)
    • Year and Date
      20080117-18
  • [Presentation] Er_2SiO_5ナノ構造複合材料の創製とシリコンフォトニクス応用(招待講演)2008

    • Author(s)
      一色秀夫
    • Organizer
      早稲田大学ナノテクノロジーフォーラム、「マイクロ/ナノフォトニクス」部会第11回研究会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(大久保キャンパス)理工学部,新宿区
    • Year and Date
      2008-11-19
  • [Presentation] Structural and photoluminescence comparison of Er_2SiO_5 and Er_2O_3 prepared by sol-gel method2008

    • Author(s)
      X.J.Wang, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学、名古屋
    • Year and Date
      2008-09-04
  • [Presentation] SRSO中Er_2SiO_5微結晶の1.53μm発光における励起効率の増大2008

    • Author(s)
      大江将己, 藤原優, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学、名古屋
    • Year and Date
      2008-09-04
  • [Presentation] SiO_2基板上に作製した Er_2SiO_5結晶薄膜の評価2008

    • Author(s)
      中島崇之, 大江将己, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学、名古屋
    • Year and Date
      2008-09-04
  • [Presentation] Er_2SiO_5/SiO_2光導波路の発光および光学利得の検討2008

    • Author(s)
      一色秀夫, 中山裕介, 中島崇之, 木村忠正
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学、名古屋
    • Year and Date
      2008-09-02
  • [Presentation] ErSiO Self-organized Superlattice Crystals as a 1.54μm Luminescent Material2008

    • Author(s)
      X.J.Wang, T.Nakajima, H.Isshiki, T. Kimura
    • Organizer
      3rd KUMTT-UEC Workshop
    • Place of Presentation
      University of Electro-Communications, Tokyo
    • Year and Date
      2008-08-19
  • [Presentation] Excitation and luminescence properties of Er_2SiO_5 crystalline compounds controlled by the sol-gel fabrication process2008

    • Author(s)
      T. Kimura, and H. Isshiki
    • Organizer
      SEDWAL Workshop 2008
    • Place of Presentation
      Levico Terme, Trento, ITALY(invited)
    • Year and Date
      2008-04-14
  • [Presentation] 相分離によるEr_2SiO_5結晶の形成過程2008

    • Author(s)
      大江将己, 鮫島健、藤原優、一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日大理工学部船橋キャンパス(船橋市)
    • Year and Date
      2008-03-30
  • [Presentation] Erbium silicate formation by solid phase reaction of amorphous Er-O and SiO_22008

    • Author(s)
      X.J.Wang, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日大理工学部船橋キャンパス(船橋市)
    • Year and Date
      2008-03-28
  • [Presentation] レーザアブレーション法による高配向Er_2SiO_5結晶薄膜の作製2008

    • Author(s)
      田中康仁, 植田啓, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日大理工学部船橋キャンパス(船橋市)
    • Year and Date
      2008-03-28
  • [Presentation] ErYbSiO_5結晶の作製と発光特性評価2008

    • Author(s)
      常安啓文, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日大理工学部船橋キャンパス、(船橋市)
    • Year and Date
      2008-03-28
  • [Presentation] シリコンフォトニクスにおける発光源の開発2007

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Organizer
      明治大学先端半導体ワークショップ
    • Place of Presentation
      明治大学プロシーディングズ(招待講演)
    • Year and Date
      20071006-1101
  • [Presentation] ゾルゲル法ErSiO結晶化合物の固相成長条件の研究2007

    • Author(s)
      大江将己、一色秀夫、木村忠正
    • Organizer
      明治大学先端半導体ワークショップ
    • Place of Presentation
      明治大学プロシーディングズ
    • Year and Date
      20071006-1101
  • [Presentation] ErSiO結晶化合物のMOMBE成長におけるEr(TMOD)_3供給律速成長速度2007

    • Author(s)
      崔賢聖、立石浩平、中山裕介、一色秀夫、木村忠正
    • Organizer
      明治大学先端半導体ワークショップ
    • Place of Presentation
      明治大学プロシーディングズ
    • Year and Date
      20071006-1101
  • [Presentation] Preparation of high density SiC/SiOx nanocables and their photoluminescence, field emission properties2007

    • Author(s)
      X.J.Wang, J.F.Tian, L.H.Bao, H.Isshiki, T.Kimura
    • Organizer
      Proceedings of Workshop on Advanced Semiconductor Technologies
    • Place of Presentation
      Meji University, Tokyo
    • Year and Date
      20071006-1101
  • [Presentation] Growth Rate Limiting by Er(TMOD)_2 Supply in MOMBE Growth of ErSiO Crystalline2007

    • Author(s)
      H.Choi, K.Tateishi, Y.Nakayama, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      4th International Conference on Group IV, WP14
    • Place of Presentation
      Radison Miyako Hotel, Tokyo, Japan
    • Year and Date
      20070919-21
  • [Presentation] Investigation of Solid Phase Growth Conditions of ErSiO Crystalline Compound Prepared by Sol-Gel Method2007

    • Author(s)
      M.Ohe, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      4th International Conference on Group IV,WP15
    • Place of Presentation
      Radison Miyako Hotel, Tokyo, Japan
    • Year and Date
      20070919-21
  • [Presentation] Evaluation of the 1.54μm emission characteristics of ErSiO superlattice crystals2007

    • Author(s)
      Tadamasa Kimura, Tomoyuki Ushiyama and Hideo Isshiki
    • Organizer
      E-MRS 2007 Spring Meeting
    • Place of Presentation
      Strasbourg, France
    • Year and Date
      20070528-0601
  • [Presentation] Investigation of low temperature growth of ErSiO superlattice crystals2007

    • Author(s)
      H.Isshiki, T. Ushiyama, K. Tateishi, T.Shimohata, T. Kawaguchi, Y. Tsuneyasu, H.S. Choi, M. Ohe, Y. Nakayama, Y. Tanaka and T. Kimura
    • Organizer
      E-MRS 2007 Spring Meeting
    • Place of Presentation
      Strasbourg, France
    • Year and Date
      20070528-0601
  • [Presentation] Siナノフォトニクス-次世代LSIにおける電子デバイスと光デバイスとの融合-2007

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Organizer
      日本女子大平成19年度先端光情報技術研究会
    • Year and Date
      2007-12-15
  • [Presentation] Er_2SiO_5結晶の作製と導波路型発光デバイス応用2007

    • Author(s)
      一色秀夫、木村忠正
    • Organizer
      学振第145委員会(結晶加工と評価技術)第112回研究会
    • Place of Presentation
      弘済会館、東京
    • Year and Date
      2007-11-19
  • [Presentation] 次世代技術ロードマップと信頼性課題(概要)2007

    • Author(s)
      木村忠正
    • Organizer
      2007年第17回電子デバイスの信頼性シンポジウム信頼性セミナー次世代技術ロードマップ(ITRS)と信頼性課題(概要)
    • Place of Presentation
      大田区産業プラザ(依頼講演)
    • Year and Date
      2007-11-02
  • [Presentation] シリコンベース発光デバイスの最近の進歩と展望2007

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Organizer
      ポリマー光回路時限研究専門委員会第10回ポリマー光回路(POC)研究会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学日吉キャンパス神奈川(招待講演)
    • Year and Date
      2007-10-26
  • [Presentation] GFP2007報告光源材料・光源デバイス構造2007

    • Author(s)
      木村忠正
    • Organizer
      第7回シリコンフォトニクス研究会資料集(Si2007)(GFP2007・SSDM2007報告会)
    • Place of Presentation
      東京大学(依頼講演)
    • Year and Date
      2007-10-16
  • [Presentation] GFP2007会議報告光電子・Si/III-V族ハイブリット集積および革新的材料・プロセス2007

    • Author(s)
      一色秀夫
    • Organizer
      シリコンフォトニクス研究会資料集(Si2007)(GFP2007・SSDM2007報告会)
    • Place of Presentation
      東京大学(依頼講演)
    • Year and Date
      2007-10-16
  • [Presentation] シンポジウム : シリコンフォトニクス技術の最新動向、シリコンフォトニクスにおける発光デバイス2007

    • Author(s)
      木村忠正
    • Organizer
      2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学(札幌市)(招待講演)
    • Year and Date
      2007-09-06
  • [Presentation] リング共振型マイクロ波プラズマCVDによるSiC及びSi酸化膜の作製2007

    • Author(s)
      堀信也, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] Er_2SiO_5結晶の相分離と薄膜形成2007

    • Author(s)
      牛山智幸, 大江将己, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] Er_2SiO_5微結晶含有SiOx薄膜の光学特性および電気特性評価2007

    • Author(s)
      鮫島健, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] ゾルゲル法により作製したRE添加ZnO薄膜/Si構造の電流-電圧特性評価2007

    • Author(s)
      大園雄太, 一色秀夫, 木村忠正
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
  • [Presentation] Upconversion in ErSiO superlattice crystal waveguide2007

    • Author(s)
      H.Isshiki, T.Ushiyama and T.Kimura
    • Organizer
      26th Electronic Materials Symposium
    • Place of Presentation
      Moriyama
    • Year and Date
      2007-07-05
  • [Presentation] Formation of ErSiO superlattice crystal thin film prepared by pulsed laser deposition2007

    • Author(s)
      Y.Tanaka, T.Shimohata, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      26th Electronic Materials Symposium
    • Place of Presentation
      Moriyama
    • Year and Date
      2007-07-05
  • [Presentation] Highly oriented ErSiO superlattice crystal growth on crystalline sol-gel buffer2007

    • Author(s)
      Y.Nakayama, H.S.Choi, H.Isshiki and T.Kimura
    • Organizer
      26th Electronic Materials Symposium
    • Place of Presentation
      Moriyama
    • Year and Date
      2007-07-05
  • [Presentation] Siベース発行材料の新潮流 : ErSiO自己組織化超格子結晶の特性と1.54μm発光素子性能評価2007

    • Author(s)
      木村忠正、一色秀夫
    • Organizer
      光電相互変換第125委員会第196回研究会
    • Place of Presentation
      筑波大学(招待講演)
    • Year and Date
      2007-05-10
  • [Remarks]

    • URL

      http://flex.ee.uec.ac.jp/~t-kimura/

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi