2008 Fiscal Year Final Research Report
Development of highly-sensitive diamond detectors with a large amplification function
| Project/Area Number |
19360018
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Thin film/Surface and interfacial physical properties
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
ITO Toshimichi Osaka University, 大学院・工学研究科, 教授 (00183004)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MAIDA Osamu 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40346177)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | CVDダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD / 紫外線検出器 / 軟X線検出器 |
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| Research Abstract |
近年我々が見出した巨大増幅機能を有するダイヤモンド検出器について研究を推進した結果、縦型(積層型)素子構造の採用により検出効率が増大し従来の報告例より格段に早い応答速度が得られること、基板上部へのホウ素ドープp型層の挿入により低印加電圧領域で検出効率が顕著に増大すること、あるいは、微斜面基板の採用により高品質層の成長速度の増加・ドーパント取込効率の増加・品質向上が同時に達成できること等を実証した。
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