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2009 Fiscal Year Final Research Report

Precise measurement of thin film elastic constant using picosecond resonant ultrasound spectroscopy

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 19360051
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Materials/Mechanics of materials
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

HIRAO Masahiko  Osaka University, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (80112027)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) OGI Hirotsugu  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (90252626)
NAKAMURA Nobutomo  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教 (50452404)
TARUMI Ryuichi  大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (30362643)
Project Period (FY) 2007 – 2009
Keywords弾性定数 / ナノ薄膜 / フォノン共鳴 / 極短パルス光計測
Research Abstract

Accurate evaluation of elastic properties of nanoscale thin films is an important issue in nanoscience and nanotechnology. We have developed the picosecond ultrasound spectroscopy method for the measurement of the elastic constant of nanoscale thin films and present its application to nondestructive evaluation method for reliability of nanomaterials.

  • Research Products

    (16 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (10 results)

  • [Journal Article] 第一原理計算によるナノ結晶ダイヤモンドの非sp3結合領域の構築とその弾性特性に及ぼす影響の解析2009

    • Author(s)
      谷垣健一, 多根井寛志, 草部浩一, 荻博次, 中村暢伴, 平尾雅彦
    • Journal Title

      日本機械学会論文集A編 75-758

      Pages: 1424-1429

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Unusual elastic behavior of nanocrystalline diamond thin films2008

    • Author(s)
      H. Tanei, N. Nakamura, H. Ogi, M. Hirao, R. Ikeda
    • Journal Title

      Phys. Rev. Lett. 100

      Pages: 016804

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Laser-Induced Coherent Acoustic Phonons for Measuring Elastic Constants of Ultra-Thin Films2008

    • Author(s)
      N. Nakamura, A. Uranishi, T. Shagawa, H. Ogi, M. Hirao, M. Nishiyama
    • Journal Title

      J. Sol. Mech. Mater. Eng 2

      Pages: 1420-1426

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Stable Elasticity of Epitaxial Cu Thin Films on Si2008

    • Author(s)
      N. Nakamura, H. Ogi, M. Hirao
    • Journal Title

      Phys. Rev. B 77

      Pages: 245416

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Recovery of Elastic Constant of Ultrathin Cu Films by Low Temperature Annealing2008

    • Author(s)
      N. Nakamura, H. Ogi, T. Shagawa, M. Hirao
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett. 92

      Pages: 141901

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fast Recovery of Elasticity of Cu Thin Films at Room Temperature Studied by Resonant-Ultrasound Spectroscopy2007

    • Author(s)
      N. Nakamura, H. Ogi, T. Nakashima, M. Hirao, M. Nishiyama
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      Pages: 4450-4453

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] サブテラヘルツ超音波によるナノ薄膜の弾性定数計測2009

    • Author(s)
      中村暢伴, 加計陽介, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      2009年日本機械学会年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学
    • Year and Date
      2009-09-14
  • [Presentation] ピコ秒レーザー超音波法によるSiウェハー中のナノ欠陥評価2009

    • Author(s)
      谷垣健一, 荻博次, 平尾雅彦, 松川和人, 原田博文
    • Organizer
      2009年日本機械学会年次大会
    • Place of Presentation
      岩手大学
    • Year and Date
      2009-09-14
  • [Presentation] ナノ結晶ダイヤモンドの非sp3結合領域とその弾性特性に対する第一原理シミュレーション2009

    • Author(s)
      谷垣健一, 多根井寛志, 草部浩一, 荻博次, 中村暢伴, 平尾雅彦
    • Organizer
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学筑波キャンパス
    • Year and Date
      2009-04-01
  • [Presentation] ピコ秒超音波によるエピタキシャル薄膜の弾性特性評価2009

    • Author(s)
      中村暢伴, 加計陽介, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学筑波キャンパス
    • Year and Date
      2009-04-01
  • [Presentation] Study on fast recovery of elastic constants of metallic thin films by resonant-ultrasound spectroscopy2008

    • Author(s)
      中島丈雄, 中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      第29回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      仙台市シルバーセンター
    • Year and Date
      2008-11-13
  • [Presentation] 金属薄膜の成膜直後における弾性定数の高速回復現象のモニタリング2008

    • Author(s)
      中島丈雄, 中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      日本機械学会関西支部第83期定時総会講演会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-15
  • [Presentation] ナノ薄膜の弾性特性に関する研究~超音波を利用した弾性定数計測法の開発~2008

    • Author(s)
      中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      第39回マイクロマテリアル部門委員会
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2008-01-29
  • [Presentation] 異常に大きな弾性ひずみを受ける薄膜内の超音波特性2007

    • Author(s)
      中村暢伴
    • Organizer
      非線形現象を利用した非破壊検査・材料評価研究会第6回研究会
    • Place of Presentation
      京大会館
    • Year and Date
      2007-12-19
  • [Presentation] Elastic constants of Co/Pt superlattice studied by acoustic measurements and ab initio calculation2007

    • Author(s)
      多根井寛志, 中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      第28回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場
    • Year and Date
      2007-11-15
  • [Presentation] Elastic Stability of Epitaxial Cu Thin Films: Measurement by Acoustic-Phonon Resonance2007

    • Author(s)
      中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦
    • Organizer
      第28回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場
    • Year and Date
      2007-11-15

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Published: 2011-06-18   Modified: 2016-04-21  

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