2007 Fiscal Year Annual Research Report
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19360062
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
大谷 幸利 Tokyo University of Agriculture and Technology, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
梅田 倫弘 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究員, 教授 (60111803)
水谷 康弘 東京農工大学, 大学院・工学府, 教務職員 (40374152)
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| Keywords | 超精密計測 / ナノ形状 / 偏光解析 / ミュラー行列 |
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| Research Abstract |
平成19年度は3次元ナノ構造から反射散乱光の偏光状態を計測するために分光ミュラー行列偏光計の構築とこのナノ構造によって生じる反射散乱光を厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析を行うことによって偏光計測の指標を求めることを目標として研究を推進した.偏光情報,つまり,複屈折,旋光,二色性,円二色性,偏光解消特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能とする偏光計を構築するため,ここでは検出器にライン型分光器を用いた解析システムを構築した.白色光源としてストークスパラメータとミュラーマトリックスにより偏光解析を実際の実時間スペクトルミュラーマトリックス偏光計が完成した.また,三次元ナノ構造からの反射散乱光をシミュレーションするために,厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析法を確立した.ここでは従来の解析に用いられている2つの要素のエリプソパラメータではなく,ストークスパラメータとして4つのパラメータを扱うことで,ナノ構造がほんのわずかに変化するだけで偏光の変化を捉えることが可能となった.これより従来にない偏光解消をも考慮した偏光計測の指標を求める開発でききた.同時に,ナノ形状の標準サンプルを用いてAFMによる3次元形状計測を行うことによって真のデータを得て,この構造と数値解析法の結果と比較することでキャリブレーション法を提案した.
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Research Products
(3 results)
