2008 Fiscal Year Annual Research Report
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19360062
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
大谷 幸利 Tokyo University of Agriculture and Technology, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)
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| Keywords | 超精密計測 / ナノ形状 / 偏光計 / ミュラー行列 |
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| Research Abstract |
平成20年度は3次元ナノ構造から反射散乱光の偏光状態を計測するために分光ミュラー行列偏光計の構築とこのナノ構造によって生じる反射散乱光を厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析を行うことによって偏光計測の指標を求めることを目標として研究を推進した.昨年度完成したミュラー行列偏光計測システムによって偏光情報,つまり,複屈折,旋光,二色性,円二色性,偏光解消特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能となったため,ここでは高速化,分光計測,さらには,デコンボジッションによる偏光パラメータの分離などのソフトウエアの充実をはかった.また,三次元ナノ構造からの反射散乱光をシミュレーションは昨年に引き続き,厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析法を確立した.ここではミュラー行列の16個のパラメータを扱うことで,ナノ構造がほんのわずかに変化するだけで偏光の変化を捉えることが可能を示した.さらに,偏光解消についても取り扱うことができるようになった.
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