2009 Fiscal Year Annual Research Report
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19360062
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
大谷 幸利 Tokyo University of Agriculture and Technology, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)
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| Keywords | 超精密計測 / ナノ形状 / 偏光計 / ミュラー行列 |
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| Research Abstract |
本研究は光によるナノ形状計測を可能とするために,分光ミュラー行列偏光計による光波反射散乱光計測法を目的とした.一般的に光は回折限界があるため波長以下の空間的な形状計測は困難である.特に,波長以下の構造になると高次の回折光が発生しない.しかしながら,ナノ形状よる生じる散乱光の偏光状態が変化することが知られている.ここでは偏光情報,つまり,複屈折,旋光,二色性,円二色性,偏光解消の波長特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能とする分光ミュラー行列偏光計によって,この反射散乱光検出法を確立するものである.さらに,このナノ構造によって生じる反射散乱光を厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析を行うことによって偏光計測の指標と偏光特性の波長依存性,つまり複屈折分散と偏光解消を計測することにより,従来にない光による超高精度なナノメートルオーダの形状計測システムの開発を目指した.
平成21年度は,実際にナノ三次元構造の評価を行った.ライン型分光器を用いて,偏光情報,つまり,複屈折性,旋光性,二色性,円二色性および偏光解消性を高精度,実時間でかつその場分光計測を可能とする分光ミュラー行列偏光計を構築した.サンプルへの入射角,方位角,波長情報から3次元ナノ構造の計測する.同時に,厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析から得られたストークスパラメータからナノ構造の決定法を確立する.数ナノメートルの構造をとらえるためにはミュラー行列の各要素で1/100以下にする必要があることがわかった.
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