2007 Fiscal Year Annual Research Report
電子線を用いたモアレトポグラフィによる微細構造物の三次元高分解能計測法の開発
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19360123
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| Research Institution | Kansai University |
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Principal Investigator |
新井 泰彦 Kansai University, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
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| Keywords | SEM / モアレトポグラフィ / MEMS / 縞解析 |
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| Research Abstract |
本研究では,ナノテクノロジーにおける三次元形状評価を定量的に行うことを容易に実現し,微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術開発のために,平成19年度の研究において以下に示す成果を得た.(1)FE・SEM(S4300)を設備備品費によって設置し,現在までに研究成果に基づき本研究仕様に当該装置を反射電子の検出機構を付加するとともに,格子移動装置設置が可能になるように改造した.(2)ドライエッチングをベースとした技術によってピッチ100μmの格子を製作した.さらに,ピッチ10μmの格子作製技術を確立し,加えて,高分解能計測を目指すためにピッチ4μmの格子の製作を検討した.(3)SEM内に設置するPZT圧電素子を用いた格子移動システムを構築し,1μm前後の測定精度を維i持することができるようなジグをあわせて製作した.(4)従来のモアレトポグラフィで用いていた,縞走査技術を本研究仕様(微小構造物を対象としたもの)に改造した.(5)本研究課題内で製作された微細構造物をより簡単な構造物をモデル対象として検討し,一部製作した.また,最終的に測定対象とするハードディスクヘッドを測定対象とした場合の問題点を検討し,その改善に向けたシステムの改良を検討した.平成20年度実施の研究に向けての基本的事項をすべて完了し,その成果をthe 13th international conference on experimental mechanics(Alexandroupolis,Greece)において報告し,研究成果についての議論を行った.
平成20年度に生かすことができる新たなこの成果を国際会議において得ることができた.
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