2008 Fiscal Year Annual Research Report
高速成膜PLD法により作製した厚膜磁石の異方化と高性能・超小型モータへの展開
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19360147
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| Research Institution | Nagasaki University |
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Principal Investigator |
中野 正基 Nagasaki University, 工学部, 准教授 (20274623)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
福永 博俊 長崎大学, 工学部, 教授 (10136533)
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| Keywords | 厚膜磁石 / PLD法 / 異方性磁石膜 / 保磁力 / 添加物 / 小型モータ / 高成膜速度 / 基板加熱 |
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| Research Abstract |
本研究では、Ga添加したターゲットをもとに垂直異方性Nd-Fe-B系磁石膜をPLD法により作製し、その磁気特性ならびに結晶構造について検討した。以下に得られた知見を示す。
(1)Nd_<2.4>Fe_<14>B組成にGaを0.5at.%添加したターゲットを用いることにより、無添加ターゲットを用いた試料に比べ、保磁力は100kA/m、残留磁化は0.2T程度向上した。また結晶構造観察により、Nd_2Fe_<14>B相の(004)、(006)、(008)面といった垂直異方化に起因する結晶面からの反射強度が無添加ターゲットで作製したものと比較して強く観察された。
(2)Nd量の異なるGa添加ターゲットによりた試料を作製した結果、試料内のNd含有量の増加に伴い保磁力ならびに角型性の向上を確認した。Nd_<2.6>Fe_<14>B+Ga_<0.5 at%>ターゲットを用いた際、最も優れた磁気特性が得られた。(Mr:0.95T、Hc:876kA/m、(BH)_<max>:146kJ/m^3)
(3)Ga添加した全ての試料において、垂直異方化に起因するNd_2Fe_<14>B相の(004)、(006)、(008)面のピークが観察された。更に、(008)面と(410)面の反射強度比はNd含有量の増加に伴い大きくなり、垂直方向への配向性の向上が確認された。
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