2008 Fiscal Year Annual Research Report
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19360161
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
斗内 政吉 Osaka University, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (40207593)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
村上 博成 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (30219901)
川山 巌 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 助教 (10332264)
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| Keywords | テラヘルツ / フェムト秒レーザー / 顕微鏡 / ガルバノメーター / 近接場 / 半導体 / 高温超伝導体 / 強相関電子材料 |
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| Research Abstract |
平成20年度は現在までに構築しているLTEMのさらなる性能向上を目指し、実際の材料デバイスの観察に応用した。
LTEMの性能向上(空間分解能)
前年度までにビームエクスパンダーおよび固浸レンズを使うことにより、波長780nmのフェムト秒レーザー光源を使って、空間分解能としてそれぞれ1.2ミクロンおよび1.5ミクロンを達成している。
今年度は、この両者をシステム中に同時に組み込むことにより、0.5ミクロンのライン&スペース構造を有するテラヘルツ放射素子のLTEMイメージの観察に成功した。よって、本年度の目標としていた空間分解能1ミクロンを達成した。
また、高速イメージング用として、ガルバノレーザー走査システムを組み込んだ反射型LTEMシステムの構築を行った。
このシステムに用いたレーザーの波長は1058nmである。レーザービームのフォーカスにはテラヘルツレンズを使い、さらに固浸レンズとしてレーザーおよびテラヘルツに対して透過性のあるGaPを使ったものを作製し、組み込んだ(本成果については特許申請済み)。現在、このシステムを使うことにより、512*512ピクセルのLTEM画像取得時間を従来型の1時間程度から数秒程度まで短縮することに成功しており、また空間分解能も1ミクロン程度を達成している。
現在これらシステムを用いたLSIの故障評価実験を進めている。
材料・デバイスへの応用
構築したLTEMの応用として、マルチフェロイック材料の強誘電ドメイン観測ならびに、分極と関連したテラヘルツ放射特性に関する調査研究を行った。
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