2008 Fiscal Year Final Research Report
Function Control of Miniature Products by Micro Electrical Discharge Machining
| Project/Area Number |
19360327
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Material processing/treatments
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
MOHRI Naotake The University of Tokyo, 大学院・工学系研究科, 教授 (90126186)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | 放電加工 / マイクロ放電加工 / 気中放電加工 / ピーリング電極 / 放電発光現象 / ペルチュ素子 / バイメタル / カンチレバー |
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| Research Abstract |
微小機械の製造において、リソグラフィを対象とした従来の加工材料の制約を打破するために、放電加工法をマイクロ形状創成加工に適用してその可能性を検討した。このためにピエゾ駆動を用いた高応答・高分解能型の放電微細加工装置を開発した.放電加工環境を適宜選択して,スリット中心追跡制御方式による微小工具あるいは機能性微小部品の実現を図った.これにより、金属、セラミックス、磁性体を対象としたマイクロ加工の可能性を示し、その効果を確認した。
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Research Products
(17 results)
