2008 Fiscal Year Final Research Report
Effects of Surfactant Epitaxy on Film Structures and Properties of Metal/Ceramics Multilayer Films
| Project/Area Number |
19510114
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Nanomaterials/Nanobioscience
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
KAMIKO Masao The University of Tokyo, 生産技術研究所, 助教 (80334366)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | ナノ表面界面 / 結晶成長 / サーファクタント / エピタキシャル / スパッタ蒸着 / 構造制御 / 薄膜・多層膜 / シーディッドエピタキシー |
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| Research Abstract |
サーファクタントと呼ばれる表面活性剤の一種を用い、金属やセラミックス薄膜(膜厚はnmのオーダー)の成長を意図的に制御することにより、平坦性(二次元性の高い)、結晶性(単一配向に成長)の高い高品質な薄膜やナノスケールの三次元島状成長した(ナノドット構造を持つ)薄膜を作製することに成功した。次に金属/セラミックス薄膜が交互に積層した多層膜を作製し、その物性について検討を行った。
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